8-дюймова кремнієва пластина P/N-типу (100) 1-100Ω заповнена підкладка-заповнювач

Короткий опис:

Великий асортимент двосторонньо полірованих пластин, всі пластини діаметром від 50 до 400 мм. Якщо вашої специфікації немає в нашому асортименті, ми встановили довгострокові відносини з багатьма постачальниками, які здатні виготовляти пластини на замовлення відповідно до будь-яких унікальних специфікацій. Двосторонньо поліровані пластини можна використовувати для кремнію, скла та інших матеріалів, що зазвичай використовуються в напівпровідниковій промисловості.

Надіслати нам електронного листа

Деталі продукту

Теги продукту

Введення коробки вафель

8-дюймова кремнієва пластина є поширеним матеріалом для кремнієвої підкладки, який широко використовується у виробництві інтегральних схем. Такі кремнієві пластини зазвичай використовуються для виготовлення різних типів інтегральних схем, включаючи мікропроцесори, мікросхеми пам'яті, датчики та інші електронні пристрої. 8-дюймові кремнієві пластини зазвичай використовуються для виготовлення мікросхем відносно великих розмірів, з такими перевагами, як більша площа поверхні та можливість виготовляти більше мікросхем на одній кремнієвій пластині, що призводить до підвищення ефективності виробництва. 8-дюймова кремнієва пластина також має хороші механічні та хімічні властивості, що підходить для великомасштабного виробництва інтегральних схем.

Характеристики продукту

8-дюймові поліровані кремнієві пластини типу P/N (25 шт.)

Орієнтація: 200

Питомий опір: 0,1 - 40 Ом•см (може змінюватися від партії до партії)

Товщина: 725+/-20 мкм

Прайм/Монітор/Тестовий клас

ВЛАСТИВОСТІ МАТЕРІАЛУ

Параметр	Характеристика
Тип/Домішка	P, бор N, фосфор N, сурма N, миш'як
Орієнтації	<100>, <111> орієнтації зрізів відповідно до вимог замовника
Вміст кисню	10^{19 років}ppmA Індивідуальні допуски згідно зі специфікацією замовника
Вміст вуглецю	< 0,6 ppmA

МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ

Параметр	Прайм	Монітор/Тест А	Тест
Діаметр	200±0,2 мм	200 ± 0,2 мм	200 ± 0,5 мм
Товщина	725±20 мкм (стандарт)	725±25 мкм (стандарт) 450±25 мкм 625±25 мкм 1000±25 мкм 1300±25 мкм 1500±25 мкм	725±50 мкм (стандарт)
ТТВ	< 5 мкм	< 10 мкм	< 15 мкм
Лук	< 30 мкм	< 30 мкм	< 50 мкм
Обгортка	< 30 мкм	< 30 мкм	< 50 мкм
Заокруглення країв	НАПІВСТАНДАРТНИЙ
Маркування	Тільки первинні НАПІВПЛОСКІ, НАПІВСТАНДАРТНІ ПЛОСКІ, плоскі, з виїмкою

Параметр	Прайм	Монітор/Тест А	Тест
Критерії передньої сторони
Стан поверхні	Хіміко-механічне полірування	Хіміко-механічне полірування	Хіміко-механічне полірування
Шорсткість поверхні	< 2 Å	< 2 Å	< 2 Å
Забруднення Частинки розміром >0,3 мкм	= 20	= 20	= 30
Серпанок, Ями Апельсинова цедра	Жоден	Жоден	Жоден
Пила, Марки Смуги	Жоден	Жоден	Жоден
Критерії зворотного боку
Тріщини, гусячі лапки, сліди від пилки, плями	Жоден	Жоден	Жоден
Стан поверхні	Каустичне травлення