150 мм 6 дюймів 0,7 мм 0,5 мм Сапфірова пластина Підкладка C-площина SSP/DSP
Додатки
Застосування 6-дюймових сапфірових пластин включає:
1. Виробництво світлодіодів: сапфірову пластину можна використовувати як підкладку для світлодіодних чіпів, а її твердість і теплопровідність можуть покращити стабільність і термін служби світлодіодних чіпів.
2. Лазерне виробництво. Сапфірову пластину також можна використовувати як підкладку для лазера, щоб покращити продуктивність лазера та подовжити термін служби.
3. Виробництво напівпровідників: сапфірові пластини широко використовуються у виробництві електронних та оптоелектронних пристроїв, включаючи оптичний синтез, сонячні елементи, високочастотні електронні пристрої тощо.
4. Інші додатки. Сапфірову пластину також можна використовувати для виготовлення сенсорних екранів, оптичних пристроїв, тонкоплівкових сонячних батарей та інших високотехнологічних продуктів.
Специфікація
матеріал | Високочистий монокристал Al2O3, сапфірова пластина. |
Розмір | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймів |
Товщина | 1300 +/- 25 мкм |
Орієнтація | Площина C (0001) від площини M (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
Первинна плоска орієнтація | Площина +/- 1 градус |
Первинна плоска довжина | 47,5 мм +/- 1 мм |
Варіація загальної товщини (TTV) | <20 мкм |
Лук | <25 мкм |
Деформація | <25 мкм |
Коефіцієнт теплового розширення | 6,66 x 10-6 / °C паралельно осі C, 5 x 10-6 /°C перпендикулярно до осі C |
Діелектрична міцність | 4,8 x 105 В/см |
Діелектрична проникність | 11,5 (1 МГц) уздовж осі С, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно до осі С |
Тангенс діелектричних втрат (він же коефіцієнт дисипації) | менше 1 х 10-4 |
Теплопровідність | 40 Вт/(мК) при 20 ℃ |
Полірування | одностороннє полірування (SSP) або двостороннє полірування (DSP) Ra < 0,5 нм (за АСМ).Зворотний бік SSP пластини був тонко відшліфований до Ra = 0,8 - 1,2 мкм. |
пропускання | 88% +/-1% при 460 нм |