6-дюймова кремнієва пластина типу N або P, кремнієва пластина CZ Si
Введення коробки вафель
Технічні характеристики кремнієвої пластини:
6-дюймовий кремнієвий пластинний ріст: CZ, MCZ, FZ.
6 кремнієвих пластин класу: Prime, Test, Dummy тощо
Діаметр кремнієвої пластини 6 дюймів: 6 дюймів/150 мм.
Товщина 6-дюймової кремнієвої пластини: 200~ 3000 мкм.
6-дюймова кремнієва пластина. Оздоблення: вирізане, з натиранням, травленням, SSP, DSP тощо.
Орієнтація 6-дюймової кремнієвої пластини: (100) (111) (110) (531) (553) тощо.
6-дюймова кремнієва пластина, вирізка: до 4 градусів.
6-дюймова кремнієва пластина. Тип/домішка: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, власна.
Питомий опір кремнієвої пластини 6 дюймів: CZ/MCZ: від 0,001 до 1000 Ом·см. FZ: до 20 кОм·см.
6-дюймові тонкі плівки кремнієвих пластин: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo тощо, товщина покриття до 20 000 Å/5%.
(b) LPCVD/PECVD: оксид, нітрид, карбід кремнію тощо, товщина покриття до 200 000 Å/3%.
(c) Кремнієві епітаксіальні пластини та епітаксіальні послуги (SOS, GaN, GOI тощо).
6-дюймові кремнієві пластини. Процеси виготовлення: a.DSP, ультратонкі, ультраплоскі тощо.
b. Зменшення розміру, зворотне шліфування, нарізання кубиками тощо. c. МЕМС.
З 2010 року компанія Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd прагне надавати клієнтам комплексні рішення для 4-дюймових кремнієвих пластин, від пластин рівня налагодження Dummy Wafer, пластин рівня тестування Test Wafer до пластин рівня продукту Prime Wafer, а також спеціальні пластини, оксидні пластини Oxide, нітридні пластини Si3N4, алюмінієві пластини, мідні кремнієві пластини, пластини SOI, MEMS-скло, індивідуальні надтовсті та надплоскі пластини тощо, розміром від 50 мм до 300 мм, а також ми можемо надати напівпровідникові пластини з одностороннім/двостороннім поліруванням, витонченням, нарізкою, MEMS та іншими послугами обробки та налаштування.
Детальна діаграма


