6-дюймові 150-міліметрові пластини з карбіду кремнію SiC типу 4H-N для виробництва MOS або SBD, дослідницького та манекенного класу
Галузі застосування
6-дюймова підкладка з монокристалічного карбіду кремнію відіграє вирішальну роль у багатьох галузях промисловості. По-перше, вона широко використовується в напівпровідниковій промисловості для виготовлення потужних електронних пристроїв, таких як силові транзистори, інтегральні схеми та силові модулі. Її висока теплопровідність та стійкість до високих температур забезпечують краще розсіювання тепла, що призводить до підвищення ефективності та надійності. По-друге, пластини з карбіду кремнію є важливими в дослідницьких галузях для розробки нових матеріалів та пристроїв. Крім того, пластина з карбіду кремнію знаходить широке застосування в галузі оптоелектроніки, включаючи виробництво світлодіодів та лазерних діодів.
Специфікації продукту
6-дюймова підкладка з монокристалічного карбіду кремнію має діаметр 6 дюймів (приблизно 152,4 мм). Шорсткість поверхні Ra < 0,5 нм, а товщина 600 ± 25 мкм. Підкладку можна налаштувати з провідністю N-типу або P-типу, залежно від вимог замовника. Крім того, вона демонструє виняткову механічну стійкість, здатну витримувати тиск і вібрацію.
Діаметр | 150±2,0 мм (6 дюймів) | ||||
Товщина | 350 мкм±25 мкм | ||||
Орієнтація | На осі: <0001>±0,5° | Поза осі: 4,0° у напрямку 1120±0,5° | |||
Політип | 4H | ||||
Питомий опір (Ом·см) | 4H-N | 0,015~0,028 Ом·см/0,015~0,025 Ом·см | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Основна плоска орієнтація | {10-10}±5,0° | ||||
Довжина основної плоскій поверхні (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
Край | Фаска | ||||
TTV/Луць/Деформація (ум) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Фронтальна частина AFM (Si-face) | Польський Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,5 нм | |||||
Загалом за весь період | ≤3 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤5 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤10 мкм (10 мм * 10 мм) | ||
ТТВ | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ||
Апельсинова шкірка/кістки/тріщини/забруднення/плями/смуги | Жоден | Жоден | Жоден | ||
відступи | Жоден | Жоден | Жоден |
6-дюймова підкладка з монокристалічного карбіду кремнію – це високопродуктивний матеріал, який широко використовується в напівпровідниковій, дослідницькій та оптоелектронній промисловості. Він пропонує чудову теплопровідність, механічну стабільність та стійкість до високих температур, що робить його придатним для виготовлення потужних електронних пристроїв та дослідження нових матеріалів. Ми пропонуємо різні специфікації та варіанти налаштування, щоб задовольнити різноманітні потреби клієнтів.Зв'яжіться з нами для отримання додаткової інформації про пластини з карбіду кремнію!
Детальна діаграма

