6-дюймові 150-міліметрові пластини карбіду кремнію SiC типу 4H-N для MOS або SBD Виробничі дослідження та фіктивний клас
Поля застосування
6-дюймова монокристалічна підкладка з карбіду кремнію відіграє вирішальну роль у багатьох галузях промисловості. По-перше, він широко використовується в напівпровідниковій промисловості для виготовлення потужних електронних пристроїв, таких як силові транзистори, інтегральні схеми та силові модулі. Його висока теплопровідність і стійкість до високих температур забезпечують краще розсіювання тепла, що призводить до підвищення ефективності та надійності. По-друге, пластини з карбіду кремнію необхідні в дослідницьких галузях для розробки нових матеріалів і пристроїв. Крім того, пластина з карбіду кремнію знаходить широке застосування в галузі оптоелектроніки, включаючи виробництво світлодіодів і лазерних діодів.
Технічні характеристики продукту
6-дюймова монокристалічна підкладка з карбіду кремнію має діаметр 6 дюймів (приблизно 152,4 мм). Шорсткість поверхні Ra < 0,5 нм, товщина 600 ± 25 мкм. Підкладка може бути налаштована з провідністю N-типу або P-типу залежно від вимог замовника. Крім того, він демонструє виняткову механічну стійкість, здатний витримувати тиск і вібрацію.
Діаметр | 150±2,0 мм(6 дюймів) | ||||
Товщина | 350 мкм±25 мкм | ||||
Орієнтація | На осі: <0001>±0,5° | Поза віссю: 4,0° у бік 1120±0,5° | |||
Політип | 4H | ||||
Питомий опір (Ω · см) | 4H-N | 0,015~0,028 Ом·см/0,015~0,025 Ом·см | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Первинна плоска орієнтація | {10-10}±5,0° | ||||
Первинна плоска довжина (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
Край | Фаска | ||||
TTV/Лук/Деформація (um) | ≤15/≤40/≤60 | ||||
АСМ спереду (Si-face) | Польський Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,5 нм | |||||
LTV | ≤3 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤5 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤10 мкм (10 мм * 10 мм) | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ||
Апельсинова кірка/ямки/тріщини/забруднення/плями/смуги | Жодного | Жодного | Жодного | ||
відступи | Жодного | Жодного | Жодного |
6-дюймова монокристалічна підкладка з карбіду кремнію — це високоефективний матеріал, який широко використовується в напівпровідниковій, дослідницькій та оптоелектронній промисловості. Він забезпечує чудову теплопровідність, механічну стабільність і стійкість до високих температур, що робить його придатним для виготовлення потужних електронних пристроїв і дослідження нових матеріалів. Ми пропонуємо різні специфікації та варіанти налаштування, щоб задовольнити різноманітні потреби клієнтів.Зв’яжіться з нами для отримання додаткової інформації про пластини з карбіду кремнію!