Підкладка SiC 3 дюйми товщиною 350 мкм HPSI типу Prime Grade Dummy grade
Властивості
Параметр | Сорт виробництва | Рівень дослідження | Фіктивна оцінка | одиниця |
Оцінка | Сорт виробництва | Рівень дослідження | Фіктивна оцінка | |
Діаметр | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Товщина | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Орієнтація пластин | По осі: <0001> ± 0,5° | По осі: <0001> ± 2,0° | По осі: <0001> ± 2,0° | ступінь |
Щільність мікротрубки (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Електричний опір | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·см |
Допант | Недопований | Недопований | Недопований | |
Первинна плоска орієнтація | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | ступінь |
Первинна плоска довжина | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Вторинна плоска довжина | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Вторинна плоска орієнтація | 90° CW від первинної плоскості ± 5,0° | 90° CW від первинної плоскості ± 5,0° | 90° CW від первинної плоскості ± 5,0° | ступінь |
Виключення краю | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Лук/Деформація | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | мкм |
Шорсткість поверхні | Поверхня Si: CMP, Поверхня C: Полірована | Поверхня Si: CMP, Поверхня C: Полірована | Поверхня Si: CMP, Поверхня C: Полірована | |
Тріщини (світло високої інтенсивності) | Жодного | Жодного | Жодного | |
Шестигранні пластини (світло високої інтенсивності) | Жодного | Жодного | Сукупна площа 10% | % |
Області політипу (світло високої інтенсивності) | Сукупна площа 5% | Сукупна площа 20% | Сукупна площа 30% | % |
Подряпини (світло високої інтенсивності) | ≤ 5 подряпин, сукупна довжина ≤ 150 | ≤ 10 подряпин, сукупна довжина ≤ 200 | ≤ 10 подряпин, сукупна довжина ≤ 200 | mm |
Відколювання краю | Немає ≥ 0,5 мм ширина/глибина | 2 дозволено ≤ 1 мм ширина/глибина | 5 дозволено ≤ 5 мм ширина/глибина | mm |
Поверхневе забруднення | Жодного | Жодного | Жодного |
Додатки
1. Потужна електроніка
Чудова теплопровідність і широка заборонена зона пластин SiC роблять їх ідеальними для потужних і високочастотних пристроїв:
● MOSFET і IGBT для перетворення енергії.
● Удосконалені системи живлення електромобілів, включаючи інвертори та зарядні пристрої.
●Інфраструктура розумних електромереж і системи відновлюваної енергетики.
2. РЧ та мікрохвильові системи
Підкладки SiC дозволяють застосовувати високочастотні радіочастоти та мікрохвильові програми з мінімальними втратами сигналу:
●Телекомунікаційні та супутникові системи.
●Аерокосмічні радіолокаційні системи.
●Розширені компоненти мережі 5G.
3. Оптоелектроніка та сенсори
Унікальні властивості SiC підтримують різноманітні оптоелектронні застосування:
●УФ-детектори для моніторингу навколишнього середовища та промислового зондування.
●Світлодіодні та лазерні підкладки для твердотільного освітлення та точних приладів.
●Високотемпературні датчики для аерокосмічної та автомобільної промисловості.
4. Дослідження та розробки
Різноманітність класів (Production, Research, Dummy) дає змогу проводити передові експерименти та створювати прототипи пристроїв у наукових колах і промисловості.
Переваги
●Надійність:Чудовий питомий опір і стабільність на різних рівнях.
●Налаштування:Індивідуальна орієнтація та товщина відповідно до різних потреб.
●Висока чистота:Недопований склад забезпечує мінімальні варіації, пов'язані з домішками.
●Масштабованість:Відповідає вимогам як масового виробництва, так і експериментальних досліджень.
3-дюймові пластини SiC високої чистоти — це ваші ворота до високопродуктивних пристроїв та інноваційних технологічних досягнень. Щоб отримати запити та детальні характеристики, зв’яжіться з нами сьогодні.
Резюме
3-дюймові пластини з карбіду кремнію високої чистоти (SiC), доступні у виробничому, дослідницькому та фіктивному класах, є преміальними підкладками, розробленими для потужної електроніки, радіочастотних/мікрохвильових систем, оптоелектроніки та передових досліджень і розробок. Ці пластини характеризуються нелегованими, напівізоляційними властивостями з чудовим питомим опором (≥1E10 Ω·см для виробничого класу), низькою щільністю мікротрубок (≤1 см−2^-2−2) і винятковою якістю поверхні. Вони оптимізовані для високопродуктивних додатків, включаючи перетворення електроенергії, телекомунікації, УФ-датчики та світлодіодні технології. Завдяки настроюваній орієнтації, чудовій теплопровідності та міцним механічним властивостям ці пластини SiC забезпечують ефективне та надійне виготовлення пристроїв та новаторські інновації в різних галузях промисловості.