Пластина FZ CZ Si в наявності 12-дюймова силіконова пластина. Основна або тестова
Представлення вафельної коробки
Поліровані вафлі
Силіконові пластини, які спеціально відполіровані з двох сторін для отримання дзеркальної поверхні. Чудові характеристики, такі як чистота та площинність, визначають найкращі характеристики цієї пластини.
Нелеговані кремнієві пластини
Вони також відомі як внутрішні кремнієві пластини. Цей напівпровідник є чистою кристалічною формою кремнію без присутності будь-якої легуючої домішки по всій пластині, що робить його ідеальним і ідеальним напівпровідником.
Леговані кремнієві пластини
N-тип і P-тип є двома типами легованих кремнієвих пластин.
Кремнієві пластини N-типу містять миш'як або фосфор. Він широко використовується у виробництві передових пристроїв CMOS.
Кремнієві пластини P-типу, леговані бором. Здебільшого його використовують для виготовлення друкованих плат або фотолітографії.
Епітаксіальні пластини
Епітаксіальні пластини - це звичайні пластини, які використовуються для досягнення цілісності поверхні. Епітаксіальні пластини доступні в товстих і тонких пластинах.
Багатошарові епітаксійні пластини і товсті епітаксійні пластини також використовуються для регулювання споживання енергії та контролю потужності пристроїв.
Тонкі епітаксійні пластини зазвичай використовуються в чудових MOS-інструментах.
Вафлі SOI
Ці пластини використовуються для електричної ізоляції тонких шарів монокристалічного кремнію від усієї кремнієвої пластини. Пластини SOI зазвичай використовуються в кремнієвій фотоніці та високоефективних радіочастотних додатках. Пластини SOI також використовуються для зменшення ємності паразитних пристроїв у мікроелектронних пристроях, що допомагає покращити продуктивність.
Чому складно виготовляти пластини?
12-дюймові кремнієві пластини дуже важко нарізати з точки зору виходу. Хоча кремній твердий, він також крихкий. Шорсткі ділянки утворюються, оскільки розпиляні краї пластин мають тенденцію ламатися. Алмазні диски використовуються для згладжування країв пластин і усунення пошкоджень. Після розрізання вафлі легко ламаються, оскільки мають гострі краї. Краї вафель сконструйовані таким чином, що крихкі, гострі краї усуваються, і ймовірність ковзання зменшується. В результаті операції формування кромки регулюється діаметр пластини, округлюється пластина (після нарізки відрізана пластина має овальну форму), робляться надрізи або орієнтовані площини або розміри.