8-дюймова пластина з літій-ніобату LiNbO3 LN
Детальна інформація
Діаметр | 200±0,2 мм |
значна площинність | 57,5 мм, виїмка |
Орієнтація | 128Y-розріз, X-розріз, Z-розріз |
Товщина | 0,5±0,025 мм, 1,0±0,025 мм |
Поверхня | DSP та SSP |
ТТВ | < 5 мкм |
ЛУК | ± (20 мкм ~ 40 мкм) |
Деформація | <= 20 мкм ~ 50 мкм |
LTV (5 мм x 5 мм) | <1,5 мкм |
PLTV (<0,5 мкм) | ≥98% (5 мм * 5 мм) без урахування краю 2 мм |
Ra | Ra<=5А |
Подряпи та копай (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Край | Зустрічайте SEMI M1.2@з GC800#. звичайний тип C |
Специфічні характеристики
Діаметр: 8 дюймів (приблизно 200 мм)
Товщина: Загальна стандартна товщина коливається від 0,5 мм до 1 мм. Інші товщини можна налаштувати відповідно до конкретних вимог.
Орієнтація кристалів: Основною поширеною орієнтацією кристалів є орієнтація кристалів 128Y-зріз, Z-зріз та X-зріз, а також може бути передбачена інша орієнтація кристалів залежно від конкретного застосування.
Переваги розміру: 8-дюймові вафлі з коропа serrata мають кілька переваг за розміром порівняно з меншими вафлями:
Більша площа: Порівняно з 6-дюймовими або 4-дюймовими пластинами, 8-дюймові пластини забезпечують більшу площу поверхні та можуть вмістити більше пристроїв та інтегральних схем, що призводить до підвищення ефективності виробництва та прибутковості.
Вища щільність: Завдяки використанню 8-дюймових пластин можна реалізувати більше пристроїв та компонентів в одній області, що збільшує інтеграцію та щільність пристроїв, що, у свою чергу, покращує продуктивність пристроїв.
Краща узгодженість: більші пластини мають кращу узгодженість у виробничому процесі, що допомагає зменшити мінливість у виробничому процесі та підвищити надійність і узгодженість продукції.
8-дюймові пластини L та LN мають такий самий діаметр, як і звичайні кремнієві пластини, і їх легко з'єднувати. Як високопродуктивний матеріал "з'єднаний фільтр SAW", який може обробляти високочастотні діапазони.
Детальна діаграма



