4-дюймова 6-дюймова пластина LNOI з монокристалічної плівки ніобату літію
Процес приготування матеріалів LNOI в основному поділяється на наступні чотири етапи
(1) Іони He були введені в матеріал ніобату літію з X-розрізом з певною енергією та введені в дефектний шар на певній глибині під поверхневим шаром ніобату літію;
(2) Іонно-імплантований матеріал ніобату літію зв'язується з кремнієвою підкладкою за допомогою оксидного шару для утворення зв'язуючої структури;
(3) Зв'язувальну структуру відпалили, щоб дефекти, що виникли внаслідок імплантації іонів гелію, еволюціонували та агрегувалися з утворенням тріщин. Нарешті, ніобат літію відокремили вздовж дефектного шару, утворюючи залишкові зрізи ніобату літію та пластини LNOI.
Застосування та переваги пластини LNOI
1. П'єзоелектричні плівки з ніобату літію (LNOI) мають високий п'єзоелектричний коефіцієнт та діелектричну проникність, що дозволяє їм перетворювати механічну енергію в електричну або електричну енергію в механічну. Тому вони широко використовуються в галузі датчиків, таких як датчики тиску, датчики прискорення, датчики температури тощо. Крім того, п'єзоелектрична плівка з ніобату літію також може використовуватися в акустичних та вібраційних пристроях, таких як п'єзоелектричний керамічний перетворювач, комплексний п'єзоелектричний керамічний фільтр.
2. Стабільність п'єзоелектричної плівки з ніобату літію також є однією з її переваг. Завдяки стабільності кристалічної структури та хімічній інертності, п'єзоелектрична плівка з ніобату літію може працювати за високих температур, високої вологості, сильних кислот, сильних лугів та інших агресивних середовищ, зберігаючи хорошу корозійну стійкість та довговічність.
3-Літій-ніобатна п'єзоелектрична плівка — це новий п'єзоелектричний матеріал з чудовими характеристиками та стабільністю, який має широкі перспективи застосування. З постійним розвитком науки і техніки, літій-ніобатна п'єзоелектрична плівка буде застосовуватися в більшій кількості міст, що принесе більше зручності та інновацій у життя людей.
Детальна діаграма


