4-дюймова 6-дюймова монокристалічна плівка з ніобату літію LNOI
Процес підготовки матеріалів LNOI в основному поділяється на наступні чотири етапи
(1) Іони геліону були введені в матеріал ніобату літію Х-зрізу з певною енергією та введені в шар дефекту на певній глибині під поверхневим шаром ніобату літію;
(2) Іонно-імплантований матеріал ніобату літію з’єднується з кремнієвою підкладкою за допомогою шару оксиду для формування зв’язувальної структури;
(3) З’єднувальну структуру було відпалено, щоб змусити дефекти, введені імплантацією іонів He, розвиватися та об’єднуватися з утворенням тріщин. Нарешті, ніобат літію відокремили вздовж дефектного шару для формування залишкових пластин ніобату літію та пластин LNOI.
Застосування та переваги пластини LNOI
1 - П'єзоелектричні плівки з ніобату літію (LNOI) мають високий п'єзоелектричний коефіцієнт і діелектричну проникність, які можуть перетворювати механічну енергію в електричну або електричну енергію в механічну. Тому він широко використовується в галузі датчиків, таких як датчики тиску, датчики прискорення, датчики температури тощо. Крім того, п’єзоелектрична плівка з ніобату літію також може бути використана в акустичних пристроях і вібраційних пристроях, таких як складний п’єзоелектричний керамічний фільтр п’єзоелектричного керамічного перетворювача.
2-Стабільність п'єзоелектричної плівки з ніобату літію також є однією з її переваг. Завдяки стабільності кристалічної структури та хімічній інертності п’єзоелектрична плівка з ніобату літію може працювати при високій температурі, високій вологості, сильній кислоті, сильному лузі та інших суворих середовищах, з хорошою стійкістю до корозії та довговічністю.
П'єзоелектрична плівка з ніобату 3-літію є новим п'єзоелектричним матеріалом з чудовою продуктивністю та стабільністю, який має широку перспективу застосування. З безперервним розвитком науки і техніки п’єзоелектрична плівка з ніобату літію буде застосовуватися в більшій кількості міст, приносячи більше зручності та інновацій у життя людей