4H-N/6H-N SiC Wafer Research виробництво макета діаметром 150 мм підкладка з карбіду кремнію
Специфікація підкладки з карбіду кремнію (SiC) діаметром 6 дюймів
Оцінка | Нульовий MPD | Виробництво | Дослідницький рівень | Фіктивний клас |
Діаметр | 150,0 мм±0,25 мм | |||
Товщина | 4H-N | 350 мкм ± 25 мкм | ||
4H-SI | 500 мкм ± 25 мкм | |||
Орієнтація пластини | На осі:<0001>±0,5° для 4H-SI | |||
Первинна квартира | {10-10}±5,0° | |||
Довжина основної плоскої поверхні | 47,5 мм ± 2,5 мм | |||
Виключення країв | 3 мм | |||
TTV/Луць/Деформація | ≤15 мкм/≤40 мкм/≤60 мкм | |||
Щільність мікротруб | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
Питомий опір 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ом⁻см | |||
≥1E5Ω⁻см | ||||
Шорсткість | Польський Ra ≤1 нм CMP Ra ≤0,5 нм | |||
#Тріщини від високоінтенсивного світла | Жоден | 1 дозволено, ≤2 мм | Сукупна довжина ≤10 мм, одинарна довжина ≤2 мм | |
*Шестигранні пластини під дією високоінтенсивного світла | Сукупна площа ≤1% | Сукупна площа ≤ 2% | Сукупна площа ≤ 5% | |
*Політипування ділянок за допомогою високоінтенсивного світла | Жоден | Сукупна площа ≤ 2% | Сукупна площа ≤ 5% | |
*&Подряпини від високоінтенсивного світла | 3 подряпини на 1 діаметр пластини, що дорівнює сумарній довжині | 5 подряпин на 1 діаметр пластини, що дорівнює сумарній довжині | 5 подряпин на 1 діаметр пластини, сумарну довжину | |
Крайовий скол | Жоден | Дозволено 3, ≤0,5 мм кожен | 5 дозволено, ≤1 мм кожен | |
Забруднення світлом високої інтенсивності | Жоден
|
Продажі та обслуговування клієнтів
Закупівля матеріалів
Відділ закупівель матеріалів відповідає за збір усієї сировини, необхідної для виробництва вашого продукту. Повна відстежуваність усіх продуктів та матеріалів, включаючи хімічний та фізичний аналіз, завжди доступна.
Якість
Під час та після виготовлення або обробки вашої продукції відділ контролю якості забезпечує відповідність або перевищення всіх матеріалів та допусків вашим специфікаціям.
Сервіс
Ми пишаємося тим, що у нас працюють інженери з продажу з понад 5-річним досвідом роботи в напівпровідниковій галузі. Вони навчені відповідати на технічні запитання, а також надавати своєчасні комерційні пропозиції відповідно до ваших потреб.
Ми поруч з вами будь-коли, коли у вас виникнуть проблеми, і вирішимо їх протягом 10 годин.
Детальна діаграма

