4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch Виробництво Dumy grade Dia150 мм Підкладка з карбіду кремнію
Специфікація підкладки з карбіду кремнію (SiC) діаметром 6 дюймів
Оцінка | Нульовий MPD | виробництво | Рівень дослідження | Підставна оцінка |
Діаметр | 150,0 мм±0,25 мм | |||
Товщина | 4H-N | 350 мкм±25 мкм | ||
4H-SI | 500 мкм ± 25 мкм | |||
Орієнтація пластин | На осі: <0001>±0,5° для 4H-SI | |||
Первинна квартира | {10-10}±5,0° | |||
Первинна плоска довжина | 47,5 мм±2,5 мм | |||
Виключення країв | 3 мм | |||
TTV/Bow/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Щільність мікротрубки | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
Питомий опір 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ом!см | |||
≥1E5Ω!см | ||||
Шорсткість | Польський Ra ≤1 нм CMP Ra ≤0,5 нм | |||
#Тріщини від світла високої інтенсивності | Жодного | 1 дозволено, ≤2 мм | Сукупна довжина ≤10 мм, одна довжина ≤2 мм | |
* Шестигранні пластини високої інтенсивності світла | Сукупна площа ≤1% | Сукупна площа ≤ 2% | Сукупна площа ≤ 5% | |
*Політипні області світлом високої інтенсивності | Жодного | Сукупна площа ≤ 2% | Сукупна площа ≤ 5% | |
* Подряпини високої інтенсивності світла | 3 подряпини до 1 x діаметра пластини сукупної довжини | 5 подряпин на загальну довжину діаметра пластини 1x | 5 подряпин до 1 x діаметра пластини сукупної довжини | |
Крайовий скол | Жодного | Дозволено 3, ≤0,5 мм кожен | Дозволено 5, ≤1 мм кожен | |
Зараження світлом високої інтенсивності | Жодного
|
Продажі та обслуговування клієнтів
Закупівля матеріалів
Відділ закупівель матеріалів відповідає за збір усієї сировини, необхідної для виробництва вашого продукту. Завжди доступна повна відстежуваність усіх продуктів і матеріалів, включаючи хімічний і фізичний аналіз.
якість
Під час і після виготовлення або механічної обробки вашої продукції відділ контролю якості бере участь у тому, щоб усі матеріали та допуски відповідали або перевищували ваші специфікації.
Сервіс
Ми пишаємося тим, що у нас є інженерно-технічний персонал з більш ніж 5-річним досвідом роботи в напівпровідниковій промисловості. Вони навчені відповідати на технічні запитання, а також своєчасно надавати пропозиції для ваших потреб.
ми будемо на вашому боці в будь-який час, коли у вас виникне проблема, і вирішимо її протягом 10 годин.