4-дюймові пластини SiC, 6H напівізолюючі підкладки SiC для первинного, дослідницького та контрольного класів

4-дюймові пластини SiC, напівізолюючі підкладки Si 6H, первинного, дослідницького та контрольного класу. Зображення.

Короткий опис:

Напівізольована підкладка з карбіду кремнію формується шляхом різання, шліфування, полірування, очищення та інших технологій обробки після вирощування напівізольованого кристала карбіду кремнію. На підкладці вирощується шар або багатошаровий кристалічний шар, що відповідає вимогам якості, як епітаксія, а потім шляхом поєднання схеми та корпусу виготовляється мікрохвильовий радіочастотний пристрій. Доступні у вигляді промислових, дослідницьких та випробувальних напівізольованих монокристалічних підкладок з карбіду кремнію розміром 2 дюйми, 3 дюйми, 4 дюйми, 6 дюймів та 8 дюймів.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Специфікація продукту

Оцінка			Виробничий клас нульового MPD (клас Z)			Стандартний виробничий клас (клас P)		Манекен класу (клас D)
Діаметр			99,5 мм~100,0 мм
	4H-SI		500 мкм±20 мкм			500 мкм±25 мкм
Орієнтація пластини			Поза осі: 4,0° у напрямку <1120> ±0,5° для 4H-N, По осі: <0001>±0,5° для 4H-SI
	4H-SI		≤1 см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ом·см					≥1E5 Ом·см
Основна орієнтація на плоску поверхню		{10-10} ±5,0°
Довжина основної плоскої поверхні		32,5 мм±2,0 мм
Вторинна плоска довжина		18,0 мм±2,0 мм
Вторинна плоска орієнтація		Кремнієва поверхня догори: 90° за годинниковою стрілкою від головної плоскої поверхні ±5,0°
Виключення краю		3 мм
LTV/TTV/Бутик/Деформація		≤3 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм						≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Шорсткість			C-подібна грань				польська		Ra≤1 нм
			Обличчя Сі	CMP	Ra≤0,2 нм					Ra≤0,5 нм
Тріщини на краях під дією високоінтенсивного світла		Жоден						Сукупна довжина ≤ 10 мм, одинарна довжина ≤2 мм
Шестигранні пластини під дією високоінтенсивного світла		Сукупна площа ≤0,05%						Сукупна площа ≤0,1%
Політипні області під дією високоінтенсивного світла		Жоден						Сукупна площа ≤3%
Візуальні вуглецеві включення		Сукупна площа ≤0,05%						Сукупна площа ≤3%
Подряпини на кремнієвій поверхні, що виникають під впливом високоінтенсивного світла		Жоден						Сукупна довжина ≤1＊діаметр пластини
Крайові чіпи високої інтенсивності світла		Не допускається ширина та глибина ≥0,2 мм						5 дозволено, ≤1 мм кожна
Забруднення поверхні кремнію високою інтенсивністю		Жоден
Упаковка		Касета для кількох пластин або контейнер для однієї пластини