Надточний пневматичний підшипник з карбіду кремнію

Надточний столик з повітряним підшипником SiC, зображений на зображенні

Короткий опис:

Зі постійним розвитком напівпровідникової промисловості, обладнання для обробки та контролю вимагає дедалі вищої продуктивності. Спираючись на великий досвід у сфері керування рухом та позиціонування на нанометровому рівні, ми розробили планарну двоосьову надточну платформу на пневматичних підшипниках H-типу.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Огляд

Розроблений з використанням оптимізованої методом скінченних елементів керамічної структури з карбіду кремнію (SiC) та технології компенсованих повітряних підшипників, цей столик забезпечує видатну точність, жорсткість та динамічну характеристику. Він ідеально підходить для:

Обробка та контроль напівпровідників
Мікро/нано виготовлення та метрологія
Нанометрове різання та полірування
Високошвидкісне точне сканування

Основні характеристики

Направляюча рейка з повітряними підшипниками SiCдля надвисокої жорсткості та точності
Висока динаміка: швидкість до 1 м/с, прискорення до 4 g, швидке осідання
Двопривідний портальний вісь Yзабезпечує високу вантажопідйомність і стійкість
Параметри кодераоптична решітка або лазерний інтерферометр
Точність позиціонування±0,15 мкм;повторюваність±75 нм
Оптимізована прокладка кабелівдля чистого дизайну та довготривалої надійності
Налаштовувані конфігураціїдля потреб конкретного застосування

Надточний дизайн та безконтактна архітектура прямого приводу

Керамічна рама SiC: ~5× жорсткість алюмінієвого сплаву та ~5× менше теплове розширення, що забезпечує стабільність на високій швидкості та термостійкість.
Компенсований повітряний підшипникЗапатентована конструкція підвищує жорсткість, вантажопідйомність та стабільність руху.
Динамічна продуктивністьПідтримує швидкість 1 м/с та прискорення 4 g, що ідеально підходить для високопродуктивних процесів.
Безшовна інтеграціяСумісний із системами віброізоляції, поворотними платформами, модулями нахилу та платформами для роботи з пластинами.
Управління кабелямиКонтрольований радіус вигину мінімізує навантаження для подовження терміну служби.

Безсердечниковий лінійний двигунПлавний рух з нульовою силою зубчастого обертання.
Багатомоторний привідРозташування двигуна в площині навантаження покращує прямолінійність, площинність та кутову точність.
Теплова ізоляціяДвигуни ізольовані від конструкції сцени; додаткове повітряне або водяне охолодження для циклів високого навантаження.

Специфікації

Модель	400-400	500-500	600-600
Сокири	X (сканування) / Y (крок)	X (сканування) / Y (крок)	X (сканування) / Y (крок)
Хід (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Точність (мкм)	±0,15	±0,2	±0,2
Повторюваність (нм)	±75	±100	±100
Роздільна здатність (нм)	0,3	0,3	0,3
Максимальна швидкість (м/с)	1	1	1
Прискорення (g)	4	4	4
Прямолінійність (мкм)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабільність (нм)	±5	±5	±5
Макс. навантаження (кг)	20	20	20
Тангаж/Крен/Рискання (дугова секунда)	±1	±1	±1

Умови випробування:

Повітря, що подається: чисте, сухе; точка роси ≤ 0°F; фільтрація частинок ≤ 0,25 мкм; або 99,99% азоту.
Точність вимірювання: 25 мм вище центру предметного столика за температури 20±1 °C, відносної вологості 40–60%.

Застосування

Літографія, інспекція та обробка напівпровідникових пластин
Мікро/нано виготовлення та прецизійна метрологія
Виробництво високоякісної оптики та інтерферометрія
Аерокосмічні та передові наукові дослідження

Найчастіші запитання – Повітряно-підшипникова платформа з карбіду кремнію

1. Що таке повітряно-носійний етап?

Повітряна платформа використовує тонку плівку стисненого повітря між платформою та напрямною для забезпеченнябезтертячий, беззносовий та надзвичайно плавний рухНа відміну від звичайних механічних підшипників, він усуває заїдання, забезпечує точність на нанометровому рівні та підтримує довгострокову надійність.

2. Чому для конструкції сцени використовується карбід кремнію (SiC)?

Висока жорсткість: ~5× більше, ніж у алюмінієвого сплаву, що мінімізує деформацію під час динамічного руху.
Низьке теплове розширення: ~5× нижче, ніж у алюмінію, зберігаючи точність за коливань температури.
ЛегкийМенша щільність порівняно зі сталлю, що дозволяє працювати на високій швидкості та з високим прискоренням.
Відмінна стабільністьЧудове демпфування та жорсткість для надточного позиціонування.

3. Чи потребує сцена змащування або технічного обслуговування?

Традиційне змащення не потрібне, оскільки єбез механічного контактуРекомендоване технічне обслуговування включає:

Постачаннячисте, сухе стиснене повітря або азот
Періодична перевірка фільтрів та осушувачів
Моніторинг кабелів та систем охолодження

4. Які вимоги до подачі повітря?

Точка роси: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Фільтрація частинок: ≤ 0,25 мкм
Чисте, сухе повітря або азот з чистотою 99,99%
Стабільний тиск з мінімальними коливаннями

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.