TGV Скляні підкладки 12-дюймова пластина Перфорування скла

Скляні підкладки працюють краще з точки зору теплових властивостей, фізичної стабільності, є більш термостійкими та менш схильними до викривлення чи деформації через високі температури;

Крім того, унікальні електричні властивості скляного сердечника дозволяють знизити діелектричні втрати, що забезпечує чіткішу передачу сигналу та потужності. У результаті втрати потужності під час передачі сигналу зменшуються, а загальна ефективність чіпа природним чином підвищується. Товщину підкладки зі скляного сердечника можна зменшити приблизно вдвічі порівняно з пластиком ABF, а потоншення покращує швидкість передачі сигналу та енергоефективність.

Технологія формування отворів ТГВ:

Метод лазерного травлення використовується для індукції безперервної зони денатурації за допомогою імпульсного лазера, а потім оброблене лазером скло поміщається в розчин фтористоводневої кислоти для травлення. Швидкість травлення скла зони денатурації у фтористоводневій кислоті є вищою, ніж у неденатурованого скла з утворенням наскрізних отворів.

TGV заповнення:

Спочатку робляться глухі отвори TGV. По-друге, затравковий шар був нанесений всередину глухого отвору TGV методом фізичного осадження з парової фази (PVD). По-третє, гальванічне покриття знизу вгору забезпечує безперебійне заповнення TGV; Нарешті, шляхом тимчасового склеювання, зворотного шліфування, хімічно-механічного полірування (CMP) оголення міді, роз’єднання, формування заповненої металом передавальної пластини TGV.