Скляні підкладки TGV, штампування скла 12-дюймовою пластиною

Скляні підкладки мають кращі теплові властивості, фізичну стабільність, є більш термостійкими та менш схильними до деформації через високі температури;

Крім того, унікальні електричні властивості скляного осердя забезпечують зниження діелектричних втрат, що забезпечує чіткішу передачу сигналу та потужності. В результаті втрати потужності під час передачі сигналу зменшуються, а загальна ефективність чіпа природним чином підвищується. Товщину підкладки скляного осердя можна зменшити приблизно вдвічі порівняно з пластиком ABF, а таке стоншення покращує швидкість передачі сигналу та енергоефективність.

Технологія формування отворів TGV:

Метод лазерного травлення використовується для створення зони безперервної денатурації за допомогою імпульсного лазера, а потім оброблене лазером скло поміщають у розчин плавикової кислоти для травлення. Швидкість травлення скла зони денатурації у плавиковій кислоті вища, ніж у неденатурованого скла, що призводить до утворення наскрізних отворів.

Заповнення TGV:

Спочатку виготовляються глухі отвори для TGV. По-друге, шар зародка наноситься всередину глухого отвору TGV методом фізичного осадження з парової фази (PVD). По-третє, гальванічне покриття знизу вгору забезпечує безшовне заповнення TGV; нарешті, шляхом тимчасового склеювання, зворотного шліфування, хіміко-механічного полірування (CMP), оголення міді та розшарування, формується металонаповнена переносна пластина TGV.