Вафельний човен з карбіду кремнію (SiC)

Зображення човника з пластини з карбіду кремнію (SiC)

Короткий опис:

Човник для пластин з карбіду кремнію (SiC) – це напівпровідниковий технологічний носій, виготовлений з високочистого матеріалу SiC, призначений для утримання та транспортування пластин під час критичних високотемпературних процесів, таких як епітаксія, окислення, дифузія та відпал.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Огляд кварцового скла

Зі швидким розвитком силових напівпровідників та пристроїв із широкою забороненою зоною, звичайні кварцові човники стикаються з такими обмеженнями, як деформація за високих температур, сильне забруднення частинками та короткий термін служби. Човники на основі кремнієвих пластин, що характеризуються чудовою термостабільністю, низьким рівнем забруднення та тривалим терміном служби, все частіше замінюють кварцові човники та стають кращим вибором у виробництві кремнієвих пристроїв.

Основні характеристики

1. Переваги матеріалу

Виготовлено з високочистого SiC звисока твердість і міцність.
Температура плавлення вище 2700°C, що значно вище, ніж у кварцу, забезпечує тривалу стабільність в екстремальних умовах.

2. Теплові властивості

Висока теплопровідність для швидкої та рівномірної передачі тепла, мінімізуючи напруження пластини.
Коефіцієнт теплового розширення (КТР) точно відповідає підкладкам SiC, зменшуючи вигин та розтріскування пластин.

3. Хімічна стабільність

Стабільний за високих температур та різних атмосфер (H₂, N₂, Ar, NH₃ тощо).
Відмінна стійкість до окислення, що запобігає розкладанню та утворенню частинок.

4. Продуктивність процесу

Гладка та щільна поверхня зменшує осипання частинок та забруднення.
Зберігає стабільність розмірів та вантажопідйомність після тривалого використання.

5. Ефективність витрат

Термін служби в 3–5 разів довший, ніж у кварцових човнів.
Менша частота технічного обслуговування, що зменшує час простою та витрати на заміну.

Застосування

SiC епітаксіяПідтримка 4-дюймових, 6-дюймових та 8-дюймових SiC-підкладок під час високотемпературного епітаксіального росту.
Виготовлення силових пристроївІдеально підходить для SiC MOSFET, діодів з бар'єром Шотткі (SBD), IGBT та інших пристроїв.
Термічна обробкаПроцеси відпалу, азотування та карбонізації.
Окислення та дифузіяСтабільна платформа для підтримки пластин для високотемпературного окислення та дифузії.

Технічні характеристики

Елемент	Специфікація
Матеріал	Високочистий карбід кремнію (SiC)
Розмір пластини	4 дюйми / 6 дюймів / 8 дюймів (налаштовується)
Макс. робоча температура.	≤ 1800°C
КТР теплового розширення	4,2 × 10⁻⁶ /K (близько до підкладки SiC)
Теплопровідність	120–200 Вт/м·K
Шорсткість поверхні	Ra < 0,2 мкм
Паралелізм	±0,1 мм
Термін служби	≥ 3× довші, ніж кварцові човни

Порівняння: кварцовий човен проти карбід-кремнієвого човна

Вимір	Кварцовий човен	Човен з карбіду кремнію
Стійкість до температури	≤ 1200°C, деформація за високої температури.	≤ 1800°C, термічно стабільний
Збіг CTE з SiC	Велика невідповідність, ризик напруження пластини	Тісна відповідність, зменшує розтріскування пластини
Забруднення частинками	Високий, утворює домішки	Низька, гладка та щільна поверхня
Термін служби	Коротка, часта заміна	Довгий, у 3–5 разів довший термін служби
Відповідний процес	Звичайна кремнієва епітаксія	Оптимізовано для епітаксії SiC та силових пристроїв

Найчастіші запитання – Човнички з карбіду кремнію (SiC) для пластин

1. Що таке човен з SiC-пластини?

Човник з карбіду кремнію (SiC) – це напівпровідниковий носій для обробки напівпровідників, виготовлений з високочистого карбіду кремнію. Він використовується для утримання та транспортування пластин під час високотемпературних процесів, таких як епітаксія, окислення, дифузія та відпал. Порівняно з традиційними кварцовими човниками, човники з карбіду кремнію пропонують чудову термостабільність, менший рівень забруднення та довший термін служби.

2. Чому варто обрати човники з вафельних пластин SiC замість кварцових?

Вища термостійкістьСтабільний до 1800°C порівняно з кварцом (≤1200°C).
Краще співпадіння CTEБлизькість до підкладок SiC, мінімізація напружень та розтріскування пластини.
Менше утворення частинокГладка, щільна поверхня зменшує забруднення.
Довший термін службиУ 3–5 разів довше, ніж кварцові човни, що знижує вартість володіння.

3. Які розміри пластин можуть підтримувати човни з пластинами SiC?

Ми пропонуємо стандартні дизайни для4 дюйми, 6 дюймів та 8 дюймівпластини з повною можливістю налаштування відповідно до потреб клієнтів.

4. У яких процесах зазвичай використовуються човники з кремнієвих пластин?

Епітаксіальне зростання SiC
Виробництво силових напівпровідникових приладів (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Високотемпературний відпал, азотування та карбонізація
Процеси окислення та дифузії

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.