Керамічна вилка/ручка з карбіду кремнію SiC для критично важливих систем переміщення
Детальна діаграма


Введення карбідкремнієвої керамічної вилки/ручки
TheКерамічна вилка/рука з карбіду кремнію– це передовий компонент, розроблений для передової промислової автоматизації, обробки напівпровідників та надчистих середовищ. Його виразна вилоподібна архітектура та надплоска керамічна поверхня роблять його ідеальним для роботи з делікатними підкладками, включаючи кремнієві пластини, скляні панелі та оптичні пристрої. Розроблений з точністю та виготовлений з надчистого карбіду кремнію,Керамічна вилка/рука з карбіду кремніюпропонує неперевершену механічну міцність, термостійкість та контроль забруднення.
На відміну від звичайних металевих або пластикових кронштейнів,Керамічна вилка/рука з карбіду кремніюЗабезпечує стабільну роботу в екстремальних термічних, хімічних та вакуумних умовах. Незалежно від того, чи працює він у чистому приміщенні класу 1, чи у плазмовій камері високого вакууму, цей компонент гарантує безпечне, ефективне та беззалишкове транспортування цінних деталей.
Завдяки структурі, адаптованій для роботизованих рук, маніпуляторів пластин та автоматизованих інструментів перенесення,Керамічна вилка/рука з карбіду кремніює розумним оновленням для будь-якої високоточної системи.


Процес виготовлення керамічної вилки/ручки з карбіду кремнію
Створення високопродуктивногоКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюпередбачає жорстко контрольований робочий процес керамічної інженерії, який забезпечує повторюваність, надійність та наднизький рівень дефектів.
1. Матеріалознавство
У виробництві використовується лише порошок карбіду кремнію надвисокої чистотиКерамічна вилка/рука з карбіду кремнію, що забезпечує низький рівень іонного забруднення та високу об'ємну міцність. Порошки точно змішуються зі спікаючими добавками та зв'язуючими речовинами для досягнення оптимального ущільнення.
2. Формування базової структури
Базова геометріяважіль/кисть вилкиформується за допомогою холодного ізостатичного пресування або лиття під тиском, що забезпечує високу щільність заготовки та рівномірний розподіл напружень. U-подібна конфігурація оптимізована для співвідношення жорсткості до ваги та динамічної реакції.
3. Процес спікання
Зелене тілоКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюспікається у високотемпературній печі з інертним газом за температури понад 2000°C. Цей етап забезпечує близьку до теоретичної щільності, створюючи компонент, стійкий до розтріскування, деформації та відхилення розмірів під реальними тепловими навантаженнями.
4. Точне шліфування та механічна обробка
Для формування кінцевих розмірів використовується передовий алмазний інструмент з ЧПККерамічна вилка/рука з карбіду кремніюЖорсткі допуски (±0,01 мм) та дзеркальна поверхнева обробка зменшують виділення частинок та механічне напруження.
5. Кондиціонування та очищення поверхонь
Фінальна обробка поверхні включає хімічне полірування та ультразвукове очищення для підготовкиважіль/кисть вилкидля безпосередньої інтеграції в надчисті системи. Також доступні додаткові покриття (CVD-SiC, антиблікові шари).
Цей ретельний процес гарантує, що коженКерамічна вилка/рука з карбіду кремніювідповідає найсуворішим промисловим стандартам, включаючи вимоги SEMI та ISO до чистих приміщень.
Параметри карбідкремнієвої керамічної вилки/руки
Елемент | Умови випробування | Дані | Одиниця |
Вміст карбіду кремнію | / | >99,5 | % |
Середній розмір зерна | / | 4-10 | мікрон |
Щільність | / | >3.14 | г/см3 |
Видима пористість | / | <0,5 | Об'ємний % |
Твердість за Віккерсом | HV0.5 | 2800 | кг/мм2 |
Модуль розриву (3 бали) | Розмір тестового стрижня: 3 x 4 x 40 мм | 450 | МПа |
Міцність на стиск | 20°C | 3900 | МПа |
Модуль пружності | 20°C | 420 | Середній бал |
В'язкість до руйнування | / | 3.5 | МПа/м1/2 |
Теплопровідність | 20°C | 160 | Вт/(мК) |
Питомий електричний опір | 20°C | 106-108 | Ом см |
Коефіцієнт теплового розширення | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
Макс. температура застосування | Оксидна атмосфера | 1600 | °C |
Макс. температура застосування | Інертна атмосфера | 1950 рік | °C |
Застосування карбідкремнієвої керамічної вилки/ручки
TheКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюрозроблений для використання у високоточних, високоризикових та чутливих до забруднення системах. Він забезпечує надійне поводження, переміщення або підтримку критично важливих компонентів без жодних компромісів.
➤ Напівпровідникова промисловість
-
Використовується як роботизована вилка у станціях перенесення пластин на передньому кінці та FOUP.
-
Інтегрований у вакуумні камери для плазмового травлення та процесів PVD/CVD.
-
Використовується як несуча частина в метрологічних інструментах та інструментах для вирівнювання пластин.
TheКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюусуває ризики електростатичного розряду (ESD), підтримує точність розмірів та протистоїть плазмовій корозії.
➤ Фотоніка та оптика
-
Підтримує чутливі лінзи, лазерні кристали та датчики під час виготовлення або контролю.
Його висока жорсткість запобігає вібрації, а керамічний корпус стійкий до забруднення оптичних поверхонь.
➤ Виробництво дисплеїв та панелей
-
Обробляє тонке скло, OLED-модулі та РК-підкладки під час транспортування або перевірки.
Плоский та хімічно інертнийКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюзахищає від подряпин або хімічного травлення.
➤ Аерокосмічні та наукові прилади
-
Використовується у складанні оптики супутників, вакуумній робототехніці та налаштуваннях синхротронних променевих ліній.
Бездоганно працює в чистих приміщеннях космічного класу та середовищах, схильних до радіації.
У кожній галузі,Керамічна вилка/рука з карбіду кремніюпідвищує ефективність системи, зменшує кількість відмов деталей та мінімізує час простою.

FAQ – Часті запитання щодо керамічної вилки/ручки з карбіду кремнію
Q1: Що робить вилка-ручку з карбіду кремнію з кераміки кращою за металеві альтернативи?
TheКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюмає вищу твердість, нижчу щільність, кращу хімічну стійкість та значно менше теплове розширення, ніж метали. Він також сумісний з чистими приміщеннями та не схильний до корозії чи утворення частинок.
Q2: Чи можу я замовити індивідуальні розміри для мого керамічного важеля/ручки вилки з карбіду кремнію?
Так. Ми пропонуємо повну індивідуальну настройку, включаючи ширину вилки, товщину, монтажні отвори, вирізи та обробку поверхні. Незалежно від того, чи це пластини розміром 6", 8" або 12", вашіважіль/кисть вилкиможна підігнати під розмір.
Q3: Як довго служить керамічна вилка/ручка з карбіду кремнію під плазмою або вакуумом?
Завдяки високощільному матеріалу SiC та інертній природі,важіль/кисть вилкизалишається функціональним навіть після тисяч технологічних циклів. Він демонструє мінімальний знос під впливом агресивних плазмових або вакуумних теплових навантажень.
Q4: Чи підходить цей продукт для чистих приміщень класу ISO 1?
Абсолютно.Керамічна вилка/рука з карбіду кремніювиготовляється та упаковується в сертифікованих чистих приміщеннях, де рівень частинок значно нижчий за вимоги ISO Клас 1.
Q5: Яка максимальна робоча температура для цього важеля/руки вилки?
TheКерамічна вилка/рука з карбіду кремніюможе працювати безперервно при температурі до 1500°C, що робить його придатним для безпосереднього використання у високотемпературних технологічних камерах та термовакуумних системах.
Ці поширені запитання відображають найпоширеніші технічні проблеми інженерів, керівників лабораторій та системних інтеграторів, які використовуютьКерамічна вилка/рука з карбіду кремнію.
Про нас
Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.
