Верстат для різання алмазного дроту з карбіду кремнію 4/6/8/12 дюймів Обробка злитків SiC

Верстат для різання алмазного дроту з карбіду кремнію 4/6/8/12 дюймів Обробка зливка SiC.

Короткий опис:

Машина для різання карбіду кремнію з алмазним дротом — це своєрідне високоточне обладнання для обробки зливка карбіду кремнію (SiC), яке використовує технологію алмазного дротяного пиляння за допомогою високошвидкісного переміщення алмазного дроту (діаметр лінії 0,1–0,3 мм) до багатодротового різання зливка SiC для досягнення високоточної підготовки пластини з низьким рівнем пошкоджень. Обладнання широко використовується в силових напівпровідниках SiC (MOSFET/SBD), радіочастотних пристроях (GaN-on-SiC) і обробці підкладки оптоелектронних пристроїв, є ключовим обладнанням у промисловому ланцюжку SiC.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Принцип роботи:

1. Фіксація зливка: злиток SiC (4H/6H-SiC) фіксується на ріжучій платформі через пристосування, щоб забезпечити точність позиції (±0,02 мм).

2. Рух алмазної лінії: алмазна лінія (гальванічні алмазні частинки на поверхні) приводиться в рух системою напрямних коліс для високошвидкісної циркуляції (швидкість лінії 10~30 м/с).

3. Подача різання: злиток подається вздовж заданого напрямку, і алмазна лінія розрізається одночасно з декількома паралельними лініями (100~500 ліній) для формування кількох пластин.

4. Охолодження та видалення стружки: розпиліть охолоджуючу рідину (деіонізовану воду + добавки) у зоні різання, щоб зменшити термічні пошкодження та видалити стружку.

Основні параметри:

1. Швидкість різання: 0,2 ~ 1,0 мм/хв (залежно від напрямку кристала та товщини SiC).

2. Натяг шнура: 20~50 Н (надто високе, яке легко зламати, занадто низьке впливає на точність різання).

3. Товщина пластини: стандартна 350 ~ 500 мкм, пластина може досягати 100 мкм.

Основні особливості:

(1) Точність різання
Допуск на товщину: ±5 мкм (@350 мкм пластина), краще, ніж звичайне різання розчину (±20 мкм).

Шорсткість поверхні: Ra<0,5 мкм (додаткове шліфування не потрібне для зменшення обсягу подальшої обробки).

Викривлення: <10 мкм (зменшує складність подальшого полірування).

(2) Ефективність обробки
Багаторядне різання: різання 100~500 штук за раз, збільшення виробничої потужності в 3~5 разів (у порівнянні з однорядним різанням).

Термін служби лінії: алмазна лінія може різати 100~300 км SiC (залежно від твердості зливка та оптимізації процесу).

(3) Низька обробка пошкоджень
Поломка краю: <15 мкм (традиційне різання > 50 мкм), покращує вихід пластини.

Підповерхневий пошкоджений шар: <5 мкм (зменшення видалення полірування).

(4) Охорона навколишнього середовища та економіка
Відсутність забруднення будівельного розчину: зменшення витрат на утилізацію рідини порівняно з різанням розчину.

Використання матеріалу: втрати при різанні <100 мкм/різак, економія сировини SiC.

Ріжучий ефект:

1. Якість пластини: відсутність макроскопічних тріщин на поверхні, мало мікроскопічних дефектів (контрольоване розширення дислокації). Можна безпосередньо ввести грубе полірування, скорочуючи процес.

2. Консистенція: відхилення товщини пластини в партії <±3%, підходить для автоматизованого виробництва.

3. Застосовність: Підтримка різання злитків 4H/6H-SiC, сумісна з провідним/напівізольованим типом.

Технічні характеристики:

Специфікація	Подробиці
Розміри (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 або налаштувати
Діапазон розмірів оброблюваного матеріалу	4, 6, 8, 10, 12 дюймів карбіду кремнію
Шорсткість поверхні	Ra≤0,3u
Середня швидкість різання	0,3 мм/хв
вага	5,5т
Етапи налаштування процесу різання	≤30 кроків
Шум обладнання	≤80 дБ
Натяг сталевого дроту	0~110 Н (0,25 натягу дроту становить 45 Н)
Швидкість сталевого дроту	0~30 м/с
Загальна потужність	50 кВт
Діаметр алмазного дроту	≥0,18 мм
Кінцева площинність	≤0,05 мм
Швидкість різання та руйнування	≤1% (за винятком людських причин, силіконового матеріалу, лінії, технічного обслуговування та інших причин)

Послуги XKH:

XKH надає повне технологічне обслуговування верстатів для різання алмазного дроту з карбіду кремнію, включаючи вибір обладнання (узгодження діаметра дроту/швидкості дроту), розробку процесу (оптимізація параметрів різання), постачання витратних матеріалів (алмазний дріт, напрямне колесо) і післяпродажну підтримку (технічне обслуговування обладнання, аналіз якості різання), щоб допомогти клієнтам досягти високого виходу (>95%), дешевого масового виробництва SiC пластин. Він також пропонує персоналізовані оновлення (наприклад, ультратонке різання, автоматичне завантаження та розвантаження) із часом виконання замовлення 4–8 тижнів.