Кремнієвий карбід керамічний лоток присоску кремнію карбіду керамічної трубки високотемпературна спікання на замовлення

Силіконовий карбід керамічний лоток присоску кремнію карбіду керамічна трубка постачання високої температури спікання на замовлення

Короткий опис:

Керамічний лоток для карбіду кремнію та керамічні трубки з карбіду кремнію є незамінними високоефективними матеріалами у виробництві напівпровідників. Керамічний лоток для карбіду кремнію в основному використовується в обробці та підшипнику обробки вафель, щоб забезпечити стабільність високоточного процесу; Керамічні трубки з карбіду кремнію широко використовуються у трубах високої температури печі, дифузійних трубах та інших сценаріях, щоб протистояти екстремальним середовищам та підтримувати ефективне термічне управління. Обидва засновані на карбіді кремнію як основного матеріалу, який став ключовим компонентом у напівпровідниковій галузі завдяки його відмінним фізичним та хімічним властивостям.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги продукту

Основні особливості:

1. Керамічний лоток для карбіду кремнію
- Висока твердість і стійкість до зносу: Твердість близька до алмазу і може тривалий час витримувати механічний знос вафельної обробки.
- Висока теплопровідність та низький коефіцієнт теплового розширення: швидке розсіювання тепла та стабільність розмірів, уникаючи деформації, спричиненої тепловим напруженням.
- Висока площина та обробка поверхні: площина поверхні до рівня мікрона, забезпечуючи повний контакт між вафельною та дисковою, зменшуючи забруднення та пошкодження.
Хімічна стабільність: сильна корозійна стійкість, придатна для мокрого очищення та травлення у виробництві напівпровідників.
2. Керамічна трубка з карбіду кремнію
- Висока температура: вона може працювати в середовищі високої температури вище 1600 ° C протягом тривалого часу, що підходить для напівпровідникового високотемпературного процесу.
Відмінна корозійна стійкість: стійкий до кислот, лугів та різноманітних хімічних розчинників, придатних для суворих процесів.
- Висока твердість і стійкість до зносу: протистояння ерозії частинок та механічного зносу, продовження терміну служби.
- Висока теплопровідність та низький коефіцієнт теплового розширення: швидка проведення тепла та стабільності розмірності, зменшення деформації або розтріскування, спричинених тепловим напруженням.

Параметр продукту:

Параметр керамічного лотка з карбіду кремнію:

(Матеріальна властивість)		(Одиниця)	(SSIC)
(Зміст SIC)		(WT)%	> 99
(Середній розмір зерна)		мікрон	4-10
(Щільність)		кг/дм3	> 3.14
(Очевидна пористість)		VO1%	<0,5
(Вікерс твердість)	HV 0,5	GPA	28
() Сила згинання (три бали)	20 ° C	MPA	450
(Міцність на стиск)	20 ° C	MPA	3900
(Модуль пружності)	20 ° C	GPA	420
(Жистка перелому)		Mpa/m '%	3,5
(Теплопровідність)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Опір)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Коефіцієнт теплового розширення)	A (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Максимальна робоча температура)		o ºC	1700

Параметр керамічної трубки з карбіду кремнію:

Предмети	Індекс
α-SIC	99% хв
Очевидна пористість	16% макс
Об'ємна щільність	2,7 г/см3 хв
Міцність на вигин при високій температурі	100 МПа хв
Коефіцієнт теплового розширення	K -1 4.7x10 -6
Коефіцієнт теплопровідності (1400ºC)	24 Вт/Мк
Макс. Робоча температура	1650ºC

Основні програми:

1. Керамічна тарілка з карбіду кремнію
- Розрізання та полірування вафель: служить платформою підшипника для забезпечення високої точності та стабільності під час різання та полірування.
- Процес літографії: пластина фіксується в літографічній машині, щоб забезпечити високу точність позиціонування під час впливу.
- Хімічне механічне полірування (CMP): діє як опорна платформа для полірування прокладок, забезпечуючи рівномірний тиск та розподіл тепла.
2. Керамічна трубка з карбіду кремнію
- Трубка з високою температурою: Використовується для обладнання з високою температурою, такого як дифузійна піч та окислювальна піч для перенесення вафель для обробки високої температури.
- Процес CVD/PVD: як підшипна трубка в реакційній камері, стійка до високих температур та корозійних газів.
- Аксесуари напівпровідникового обладнання: для теплообмінників, газових трубопроводів тощо для підвищення ефективності теплового управління обладнанням.
XKH пропонує повний спектр спеціальних послуг для кремнієвих карбідних керамічних лотків, присосних чашок та керамічних труб з карбіду кремнію. Керамічні лотки та присоски кремнію та присоски, XKH можуть бути налаштовані відповідно до вимог клієнтів різних розмірів, форм та шорсткості поверхні та підтримують спеціальну обробку покриття, підвищують стійкість до зносу та резистентність до корозії; Для керамічних труб з карбіду кремнію XKH може налаштувати різноманітний внутрішній діаметр, зовнішній діаметр, довжину та складну структуру (наприклад, форма трубки або пориста трубка) та забезпечувати полірування, антиокислювальне покриття та інші процеси обробки поверхні. XKH гарантує, що клієнти можуть повною мірою скористатися продуктивними перевагами керамічної продукції кремнію, щоб відповідати вимогам вимог високоякісних виробничих полів, таких як напівпровідники, світлодіоди та фотоелектрики.