Керамічний лоток з карбіду кремнію, постачання керамічної трубки з карбіду кремнію, високотемпературне спікання, обробка на замовлення
Основні характеристики:
1. Керамічний лоток з карбіду кремнію
- Висока твердість та зносостійкість: твердість близька до алмазу та може витримувати механічне зношування при обробці пластин протягом тривалого часу.
- Висока теплопровідність та низький коефіцієнт теплового розширення: швидке розсіювання тепла та стабільність розмірів, що запобігає деформації, спричиненій термічним напруженням.
- Висока площинність та обробка поверхні: площинність поверхні сягає мікронного рівня, що забезпечує повний контакт між пластиною та диском, зменшуючи забруднення та пошкодження.
Хімічна стабільність: Висока стійкість до корозії, підходить для вологого очищення та травлення у виробництві напівпровідників.
2. Керамічна трубка з карбіду кремнію
- Стійкість до високих температур: може працювати в умовах високих температур понад 1600°C протягом тривалого часу, що підходить для напівпровідникових високотемпературних процесів.
Відмінна стійкість до корозії: стійкий до кислот, лугів та різноманітних хімічних розчинників, підходить для жорстких технологічних середовищ.
- Висока твердість та зносостійкість: протистоять ерозії частинок та механічному зносу, подовжують термін служби.
- Висока теплопровідність та низький коефіцієнт теплового розширення: швидка теплопровідність та стабільність розмірів, що зменшує деформацію або розтріскування, спричинені термічним напруженням.
Параметр продукту:
Параметр керамічного лотка з карбіду кремнію:
| (Матеріальна власність) | (Одиниця) | (sic) | |
| (вміст SiC) | (Вага)% | >99 | |
| (Середній розмір зерна) | мікрон | 4-10 | |
| (Щільність) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Видима пористість) | Vo1% | <0,5 | |
| (твердість за Віккерсом) | ВН 0,5 | Середній бал | 28 |
| *() Міцність на згин* (три бали) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Міцність на стиск) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модуль пружності) | 20ºC | Середній бал | 420 |
| (В'язкість руйнування) | МПа/м⁻¹ | 3.5 | |
| (Теплопровідність) | 20°C | Вт/(м*К) | 160 |
| (Питомий опір) | 20°C | Ом·см | 106-108 |
(Коефіцієнт теплового розширення) | a(кімнатна температура**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максимальна робоча температура) | °C | 1700 | |
Параметр керамічної трубки з карбіду кремнію:
| Елементи | Індекс |
| α-SIC | 99% мін. |
| Видима пористість | 16% максимум |
| Насипна щільність | 2,7 г/см3 хв |
| Міцність на вигин за високої температури | 100 МПа хв. |
| Коефіцієнт теплового розширення | К-1 4,7x10 -6 |
| Коефіцієнт теплопровідності (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Макс. робоча температура | 1650ºC |
Основні застосування:
1. Керамічна пластина з карбіду кремнію
- Різання та полірування пластин: служить опорною платформою для забезпечення високої точності та стабільності під час різання та полірування.
- Процес літографії: пластина фіксується в літографічній машині для забезпечення високої точності позиціонування під час експонування.
- Хіміко-механічне полірування (ХМП): діє як опорна платформа для полірувальних дисків, забезпечуючи рівномірний тиск і розподіл тепла.
2. Керамічна трубка з карбіду кремнію
- Труба високотемпературної печі: використовується для високотемпературного обладнання, такого як дифузійна піч та окислювальна піч, для перенесення пластин для високотемпературної обробки.
- Процес CVD/PVD: як опорна трубка в реакційній камері, стійка до високих температур та агресивних газів.
- Аксесуари для напівпровідникового обладнання: для теплообмінників, газопроводів тощо, для підвищення ефективності терморегуляції обладнання.
XKH пропонує повний спектр послуг з виготовлення керамічних лотків, присосок та керамічних трубок з карбіду кремнію. Керамічні лотки та присоски з карбіду кремнію XKH можна налаштувати відповідно до вимог замовника різних розмірів, форм та шорсткості поверхні, а також підтримують спеціальну обробку покриття, підвищують зносостійкість та корозійну стійкість. Для керамічних трубок з карбіду кремнію XKH може налаштувати різні внутрішні діаметри, зовнішні діаметри, довжини та складні структури (наприклад, профільні труби або пористі труби), а також забезпечити полірування, антиокислювальне покриття та інші процеси обробки поверхні. XKH гарантує, що клієнти можуть повною мірою скористатися перевагами карбіду кремнієвої кераміки, щоб задовольнити високі вимоги високоякісних виробничих галузей, таких як напівпровідники, світлодіоди та фотоелектричні елементи.
Детальна діаграма
