Консольна лопатка з карбіду кремнію (консольна лопатка з карбіду кремнію)

Консольна лопатка з карбіду кремнію (SiC Cantilever Paddle) Зображення

Короткий опис:

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Огляд продукту

Консольна лопатка з карбіду кремнію, виготовлена з високоефективного реакційно-зв'язаного карбіду кремнію (RBSiC), є критично важливим компонентом, що використовується в системах завантаження та обробки пластин для напівпровідникових та фотоелектричних застосувань.
Порівняно з традиційними кварцовими або графітовими лопатями, консольні лопаті з карбіду кремнію (SiC) пропонують чудову механічну міцність, високу твердість, низьке теплове розширення та виняткову стійкість до корозії. Вони зберігають чудову структурну стабільність за високих температур, задовольняючи суворі вимоги до великих розмірів пластин, тривалого терміну служби та наднизького рівня забруднення.

З постійним розвитком напівпровідникових процесів у напрямку більшого діаметра пластин, вищої продуктивності та чистіших середовищ обробки, консольні лопаті з карбіду кремнію (SiC) поступово замінили традиційні матеріали, стаючи кращим вибором для дифузійних печей, LPCVD та пов'язаного з ними високотемпературного обладнання.

Характеристики продукту

Відмінна стабільність за високих температур
- Надійно працює при температурі 1000–1300℃ без деформації.
- Максимальна робоча температура до 1380℃.
Висока несуча здатність
- Міцність на вигин до 250–280 МПа, що значно вище, ніж у кварцових лопатей.
- Здатний обробляти пластини великого діаметра (300 мм і більше).
Збільшений термін служби та низькі витрати на обслуговування
- Низький коефіцієнт теплового розширення (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), добре поєднується з матеріалами покриття LPCVD.
- Зменшує тріщини та відшаровування, спричинені напругою, значно подовжуючи цикли очищення та обслуговування.
Корозійна стійкість та чистота
- Відмінна стійкість до кислот і лугів.
- Щільна мікроструктура з відкритою пористістю <0,1%, що мінімізує утворення частинок та вивільнення домішок.
Сумісний з автоматизацією дизайн
- Стабільна геометрія поперечного перерізу з високою точністю розмірів.
- Бездоганно інтегрується з роботизованими системами завантаження та розвантаження пластин, забезпечуючи повністю автоматизоване виробництво.

Фізичні та хімічні властивості

Елемент	Одиниця	Дані
Макс. робоча температура	℃	1380
Щільність	г/см³	3.04 – 3.08
Відкрита пористість	%	< 0,1
Міцність на згин	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модуль пружності	Середній бал	330 (20℃), 300 (1200℃)
Теплопровідність	Вт/м·К	45 (1200℃)
Коефіцієнт теплового розширення	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Твердість за Віккерсом	HV2	≥ 2100
Стійкість до кислот/лугів	-	Відмінно

Стандартні довжини:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Індивідуальні розміри доступні за запитом

Застосування

Напівпровідникова промисловість
- LPCVD (хімічне осадження з парової фази низького тиску)
- Дифузійні процеси (фосфор, бор тощо)
- Термічне окислення
Фотоелектрична промисловість
- Дифузія та покриття полікремнієвих та монокристалічних пластин
- Високотемпературний відпал та пасивація
Інші поля
- Високотемпературні агресивні середовища
- Системи прецизійного поводження з пластинами, що вимагають тривалого терміну служби та низького рівня забруднення

Переваги для клієнтів

Зниження експлуатаційних витрат– Довший термін служби порівняно з кварцовими лопатями, що мінімізує час простою та частоту заміни.
Вища врожайність– Надзвичайно низький рівень забруднення забезпечує чистоту поверхні пластини та зменшує рівень дефектів.
Перспективний– Сумісний з великими розмірами пластин та напівпровідниковими процесами наступного покоління.
Підвищена продуктивність– Повна сумісність із роботизованими системами автоматизації, що підтримує великосерійне виробництво.

Найчастіші запитання – Консольна лопатка з карбіду кремнію

Q1: Що таке консольна лопатка з карбіду кремнію?
A: Це компонент для підтримки та обробки пластин, виготовлений з реакційно-зв'язаного карбіду кремнію (RBSiC). Він широко використовується в дифузійних печах, LPCVD та інших високотемпературних напівпровідникових та фотоелектричних процесах.

Q2: Чому варто обрати SiC замість кварцових лопатей?
A: Порівняно з кварцовими лопатками, лопатки з карбіду кремнію пропонують:

Вища механічна міцність та несуча здатність
Краща термічна стабільність за температур до 1380℃
Значно довший термін служби та скорочені цикли технічного обслуговування
Менший ризик утворення частинок та забруднення
Сумісність з більшими розмірами пластин (300 мм і більше)

Q3: Які розміри пластин може підтримувати консольна лопатка SiC?
A: Стандартні лопаті доступні для систем печей діаметром 2378 мм, 2550 мм та 2660 мм. Доступні індивідуальні розміри для підтримки пластин діаметром до 300 мм і більше.

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.