Підкладка SiC типу P 4H/6H-P 3C-N товщиною 4 дюйми, 350 мкм. Виробничий клас. Фіксований клас.
Таблиця параметрів 4-дюймової SiC-підкладки P-типу 4H/6H-P 3C-N
4 дюймовий діаметр кремніюКарбідна (SiC) підкладка Специфікація
Оцінка | Нульове виробництво MPD Клас (Z) Оцінка) | Стандартне виробництво Оцінка (P) Оцінка) | Фіктивний клас (D Оцінка) | ||
Діаметр | 99,5 мм~100,0 мм | ||||
Товщина | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Орієнтація пластини | Поза осью: 2,0°-4,0° у напрямку [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, OВісь n:〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
Щільність мікротруб | 0 см-2 | ||||
Питомий опір | p-тип 4H/6H-P | ≤0,1 Ом·см | ≤0,3 Ом·см | ||
n-типу 3C-N | ≤0,8 мОм·см | ≤1 м Ом см | |||
Основна орієнтація на плоску поверхню | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Довжина основної плоскої поверхні | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Вторинна плоска довжина | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Вторинна плоска орієнтація | Кремнієва поверхня догори: 90° за годинниковою стрілкою від головної плоскої поверхні±5,0° | ||||
Виключення краю | 3 мм | 6 мм | |||
LTV/TTV/Бутик/Деформація | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
Шорсткість | Польський Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Тріщини на краях під дією високоінтенсивного світла | Жоден | Сукупна довжина ≤ 10 мм, одинична довжина ≤ 2 мм | |||
Шестигранні пластини під дією високоінтенсивного світла | Сукупна площа ≤0,05% | Сукупна площа ≤0,1% | |||
Політипні області під дією високоінтенсивного світла | Жоден | Сукупна площа ≤3% | |||
Візуальні вуглецеві включення | Сукупна площа ≤0,05% | Сукупна площа ≤3% | |||
Подряпини на кремнієвій поверхні, що виникають під впливом високоінтенсивного світла | Жоден | Сукупна довжина ≤1 × діаметр пластини | |||
Крайові чіпи високої інтенсивності світла | Не допускається ширина та глибина ≥0,2 мм | 5 дозволено, ≤1 мм кожна | |||
Забруднення поверхні кремнію високою інтенсивністю | Жоден | ||||
Упаковка | Касета для кількох пластин або контейнер для однієї пластини |
Примітки:
※Обмеження щодо дефектів застосовуються до всієї поверхні пластини, за винятком зони виключення країв. # Подряпини слід перевіряти лише на кремнієвій поверхні.
Підкладка P-типу 4H/6H-P 3C-N товщиною 350 мкм широко застосовується у виробництві передових електронних та силових пристроїв. Завдяки чудовій теплопровідності, високій напрузі пробою та високій стійкості до екстремальних умов, ця підкладка ідеально підходить для високопродуктивної силової електроніки, такої як високовольтні перемикачі, інвертори та радіочастотні пристрої. Підкладки виробничого класу використовуються у великосерійному виробництві, забезпечуючи надійну та високоточну роботу пристроїв, що є критично важливим для силової електроніки та високочастотних застосувань. Підкладки зразкового класу, з іншого боку, в основному використовуються для калібрування процесів, випробування обладнання та розробки прототипів, допомагаючи підтримувати контроль якості та стабільність процесів у виробництві напівпровідників.
СпецифікаціяПереваги композитних підкладок з карбіду кремнію N-типу включають
- Висока теплопровідністьЕфективне розсіювання тепла робить підкладку ідеальною для застосувань з високою температурою та високою потужністю.
- Висока напруга пробоюПідтримує роботу за високої напруги, забезпечуючи надійність силової електроніки та радіочастотних пристроїв.
- Стійкість до суворих умов експлуатаціїМіцний в екстремальних умовах, таких як високі температури та агресивне середовище, що забезпечує тривалу експлуатацію.
- Точність виробничого класуЗабезпечує високоякісну та надійну роботу у великомасштабному виробництві, підходить для передових енергетичних та радіочастотних застосувань.
- Фіктивний рівень для тестуванняЗабезпечує точне калібрування процесу, тестування обладнання та створення прототипів без шкоди для виробничих пластин.
Загалом, 4-дюймова підкладка SiC типу P 4H/6H-P 3C-N товщиною 350 мкм пропонує значні переваги для високопродуктивних електронних застосувань. Її висока теплопровідність та пробивна напруга роблять її ідеальною для середовищ з високою потужністю та високими температурами, а стійкість до суворих умов забезпечує довговічність та надійність. Підкладка виробничого класу забезпечує точну та стабільну роботу у великомасштабному виробництві силової електроніки та радіочастотних пристроїв. Тим часом, підкладка-макет є важливою для калібрування процесів, випробування обладнання та створення прототипів, підтримуючи контроль якості та стабільність у виробництві напівпровідників. Ці характеристики роблять підкладки SiC дуже універсальними для передових застосувань.
Детальна діаграма

