Керамічний вилочний важіль / кінцевий ефектор з карбіду кремнію – передове точне керування для виробництва напівпровідників

Керамічний вилочний важіль / кінцевий ефектор з карбіду кремнію – удосконалена точна обробка для виробництва напівпровідників. Зображення.

Короткий опис:

Керамічний вилочний важіль з карбіду кремнію, який часто називають керамічним кінцевим ефектором, — це високопродуктивний прецизійний маніпулюючий компонент, спеціально розроблений для транспортування, вирівнювання та позиціонування пластин у високотехнологічних галузях промисловості, зокрема у виробництві напівпровідників та фотоелектричних приладів. Виготовлений з високочистої карбід-кремнієвої кераміки, цей компонент поєднує виняткову механічну міцність, наднизьке теплове розширення та чудову стійкість до теплових ударів та корозії.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Огляд продукту

На відміну від традиційних кінцевих ефекторів, виготовлених з алюмінію, нержавіючої сталі або навіть кварцу, керамічні кінцеві ефектори з карбіду кремнію (SiC) пропонують неперевершену продуктивність у вакуумних камерах, чистих приміщеннях та суворих умовах обробки, що робить їх ключовою частиною роботів для обробки пластин наступного покоління. Зі зростанням попиту на виробництво без забруднення та жорсткішими допусками у виробництві мікросхем, використання керамічних кінцевих ефекторів швидко стає галузевим стандартом.

Принцип виробництва

ВиготовленняКерамічні кінцеві ефектори SiCвключає серію високоточних, високочистих процесів, які забезпечують як продуктивність, так і довговічність. Зазвичай використовуються два основні процеси:

Реакційно зв'язаний карбід кремнію (RB-SiC)

У цьому процесі заготовка, виготовлена з порошку карбіду кремнію та сполучної речовини, інфільтрується розплавленим кремнієм за високих температур (~1500°C), який реагує із залишковим вуглецем, утворюючи щільний, жорсткий композит SiC-Si. Цей метод забезпечує чудовий контроль розмірів та є економічно ефективним для великомасштабного виробництва.

Безтисковий спечений карбід кремнію (SSiC)

Карбід кремнію (SSiC) виготовляється шляхом спікання надтонкого порошку високої чистоти SiC за надзвичайно високих температур (>2000°C) без використання добавок або зв'язуючої фази. В результаті отримується продукт майже зі 100% щільністю та найвищими механічними та термічними властивостями, доступними серед матеріалів SiC. Він ідеально підходить для надзвичайно критичних застосувань обробки пластин.

Післяобробка

Прецизійна обробка на верстатах з ЧПКДосягає високої площинності та паралельності.
Оздоблення поверхніАлмазне полірування зменшує шорсткість поверхні до <0,02 мкм.
ІнспекціяДля перевірки кожного виробу використовуються оптична інтерферометрія, КММ та неруйнівний контроль.

Ці кроки гарантують, щоКінцевий ефектор SiCзабезпечує стабільну точність розміщення пластин, чудову планарність та мінімальне утворення частинок.

Основні характеристики та переваги

Функція	Опис
Надвисока твердість	Твердість за Віккерсом > 2500 HV, стійкість до зношування та сколювання.
Низьке теплове розширення	КТР ~4,5×10⁻⁶/K, що забезпечує розмірну стабільність при термоциклуванні.
Хімічна інертність	Стійкий до HF, HCl, плазмових газів та інших агресивних речовин.
Відмінна стійкість до теплових ударів	Придатний для швидкого нагрівання/охолодження у вакуумних та пічних системах.
Висока жорсткість і міцність	Підтримує довгі консольні вилкові важелі без прогину.
Низьке виділення газів	Ідеально підходить для середовищ надвисокого вакууму (UHV).
Готовий до використання в чистих приміщеннях класу 1 ISO	Робота без частинок забезпечує цілісність пластини.

Застосування

Керамічний вилочний важіль/кінцевий ефектор з карбіду кремнію широко використовується в галузях промисловості, що вимагають надзвичайної точності, чистоти та хімічної стійкості. Основні сценарії застосування включають:

Виробництво напівпровідників

Завантаження/вивантаження пластин у системах осадження (CVD, PVD), травлення (RIE, DRIE) та очищення.
Роботизоване транспортування пластин між FOUP, касетами та технологічними інструментами.
Обробка при високих температурах під час термічної обробки або відпалу.

Виробництво фотоелектричних елементів

Делікатне транспортування крихких кремнієвих пластин або сонячних підкладок на автоматизованих лініях.

Галузь плоских дисплеїв (FPD)

Переміщення великих скляних панелей або підкладок у виробничих середовищах OLED/LCD.

Складні напівпровідники / MEMS

Використовується на виробничих лініях GaN, SiC та MEMS, де контроль забруднення та точність позиціонування мають вирішальне значення.

Його роль кінцевого виконавчого механізму особливо важлива для забезпечення бездефектного та стабільного керування під час чутливих операцій.

Можливості налаштування

Ми пропонуємо широкий спектр можливостей налаштування для задоволення потреб різного обладнання та процесів:

Дизайн вилкиДвоконтактні, багатопальцеві або роздільно-рівневі макети.
Сумісність розмірів пластинВід 2 до 12-дюймових пластин.
Монтажні інтерфейсиСумісний з роботизованими манипуляторами виробника оригінального обладнання.
Допуски товщини та поверхніДоступні мікронна площинність та заокруглення країв.
Протиковзкі функціїДодаткові текстури поверхні або покриття для надійного зчеплення пластини.

Коженкерамічний кінцевий ефекторрозроблено спільно з клієнтами для забезпечення точної підгонки з мінімальними змінами інструментів.

Часті запитання (FAQ)

Q1: Чим SiC кращий за кварц для застосування в кінцевому ефекторі?
А1:Хоча кварц зазвичай використовується завдяки своїй чистоті, йому бракує механічної міцності та він схильний до руйнування під навантаженням або температурними перепадами. Карбід кремнію (SiC) пропонує чудову міцність, зносостійкість та термостабільність, що значно знижує ризик простою та пошкодження пластини.

Q2: Чи сумісний цей керамічний вилочний важіль з усіма роботизованими маніпуляторами пластин?
А2:Так, наші керамічні кінцеві ефектори сумісні з більшістю основних систем обробки пластин і можуть бути адаптовані до ваших конкретних моделей роботів за допомогою точних інженерних креслень.

Q3: Чи може він обробляти пластини розміром 300 мм без деформації?
А3:Абсолютно. Висока жорсткість SiC дозволяє навіть тонким, довгим вилочним кронштейнам надійно утримувати пластини розміром 300 мм без провисання чи відхилення під час руху.

Q4: Який типовий термін служби кінцевого ефектора з кераміки SiC?
А4:За належного використання кінцевий ефектор з карбіду кремнію може прослужити в 5-10 разів довше, ніж традиційні кварцові або алюмінієві моделі, завдяки своїй чудовій стійкості до термічних та механічних навантажень.

Q5: Чи пропонуєте ви послуги заміни або швидкого прототипування?
А5:Так, ми підтримуємо швидке виробництво зразків і пропонуємо послуги заміни на основі креслень САПР або деталей, отриманих методом зворотного проектування з існуючого обладнання.

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.