Вафля з кварцового скла JGS1 JGS2 BF33 Вафля 8 дюймів 12 дюймів 725 ± 25 мкм або індивідуальна
Специфікація
спец | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Діаметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Товщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Первинна квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Виїмка | Виїмка | Виїмка | Виїмка |
LTV (5 мм x 5 мм) | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм |
TTV | < 2 мкм | < 3 мкм | <3um | <10 мкм | <10 мкм |
Лук | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
Деформація | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
Заокруглення краю | Відповідає стандарту SEMI M1.2/див. IEC62276 | ||||
Тип поверхні | Одностороннє полірування/двостороннє полірування | ||||
Полірована сторона Ra | Ra≤1 нм | ||||
Критерії зворотного боку | Ra 0,2-0,7 мкм або індивідуальний |
Кварцова скляна пластина JGS1 JGS2 BF33 Таблиця параметрів пластини
застосування
Пластини з кварцового скла, виготовлені з JGS1, JGS2 і BF33, широко використовуються в різних галузях високоточної промисловості. Ці пластини ідеально підходять для виробництва напівпровідників, у тому числі підкладок для фотомасок і оптики на рівні пластин. Вони також підходять для оптичних компонентів, лазерів і датчиків у таких галузях, як телекомунікації, аерокосмічна промисловість і медичне обладнання. Їх висока термічна стабільність і стійкість до теплового удару роблять їх ідеальними для екстремальних температурних середовищ, тоді як їх винятковий коефіцієнт пропускання є вирішальним для ультрафіолетової (УФ) та інфрачервоної (ІЧ) оптики.
Властивості
Типи матеріалів:
JGS1: Високий коефіцієнт пропускання ультрафіолетового випромінювання, відмінно підходить для ультрафіолетового світла.
JGS2: збалансований коефіцієнт пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах, підходить для загального оптичного використання.
BF33: Боросилікатне скло з високою хімічною стійкістю та термостійкістю. Варіанти розмірів:
Доступні стандартні розміри 8-дюймових і 12-дюймових пластин.
Нестандартні розміри можуть бути виготовлені на основі конкретних вимог. Товщина:
Стандартна товщина 725 ± 25 мкм.
Настроювана товщина доступна для задоволення різних промислових потреб.
Теплові властивості:
Відмінна термічна стабільність, підходить для використання в середовищах з високими температурами.
Висока стійкість до термічного удару.
Хімічна стійкість:
Висока стійкість до корозії від кислот, лугів і більшості хімічних речовин, особливо BF33.
Оптичні властивості:
Пластини JGS1 і JGS2 забезпечують високу оптичну пропускну здатність в ультрафіолетовому (УФ), видимому та інфрачервоному (ІЧ) діапазонах.
Ідеально підходить для точних оптичних компонентів, фотоніки та лазерів.
Якість поверхні:
Висока площинність і гладкість поверхні, що забезпечує точність у виробництві напівпровідників і оптичних пристроїв.
Ці властивості роблять пластини JGS1, JGS2 і BF33 універсальними та надійними для високопродуктивних застосувань у таких галузях, як оптика, електроніка та напівпровідники.
Загалом
Пластини з кварцового скла, виготовлені з JGS1, JGS2 і BF33, пропонують виняткову продуктивність у різноманітних вимогливих додатках. Доступні в стандартних розмірах 8 і 12 дюймів із товщиною 725 ± 25 мкм, ці пластини також можна налаштувати відповідно до конкретних вимог. JGS1 і JGS2 забезпечують високу оптичну пропускну здатність в УФ-, видимому та ІЧ-діапазонах, тоді як BF33 забезпечує чудову хімічну стійкість і термічну стабільність. Завдяки високій площинності та гладкості поверхні ці пластини ідеально підходять для точних галузей промисловості, таких як напівпровідники, оптика та фотоніка, забезпечуючи надійність і довговічність у екстремальних умовах і критичних додатках.