Кварцова скляна пластина JGS1 JGS2 BF33 пластина 8 дюймів 12 дюймів 725 ± 25 мкм або на замовлення
Специфікація
Специфікація | 4" | 6" | 8" | 10 дюймів | 12 дюймів |
Діаметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Товщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Первинна квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Виїмка | Виїмка | Виїмка | Виїмка |
LTV (5 мм x 5 мм) | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм |
ТТВ | < 2 мкм | < 3 мкм | <3ум | <10 мкм | <10 мкм |
Лук | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
Деформація | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
Заокруглення країв | Відповідає стандарту SEMI M1.2/див. IEC62276 | ||||
Тип поверхні | Одностороннє полірування / Двостороннє полірування | ||||
Полірована сторона Ra | Ra≤1 нм | ||||
Критерії зворотного боку | Ra 0,2-0,7 мкм або на замовлення |
Таблиця параметрів кварцової скляної пластини JGS1 JGS2 BF33
Застосування
Кварцові скляні пластини, виготовлені з JGS1, JGS2 та BF33, широко використовуються в різних високоточних галузях промисловості. Ці пластини ідеально підходять для виробництва напівпровідників, включаючи фотошаблонні підкладки та оптику на рівні пластин. Вони також підходять для оптичних компонентів, лазерів та датчиків у таких галузях, як телекомунікації, аерокосмічна галузь та медичне обладнання. Їх висока термостабільність та стійкість до теплових ударів роблять їх ідеальними для екстремальних температур, тоді як їх винятковий коефіцієнт пропускання має вирішальне значення для ультрафіолетової (УФ) та інфрачервоної (ІЧ) оптики.
Властивості
Типи матеріалів:
JGS1: Високий коефіцієнт пропускання ультрафіолетового випромінювання, чудово підходить для застосування з ультрафіолетовим світлом.
JGS2: Збалансоване пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах, придатне для загального оптичного використання.
BF33: Боросилікатне скло з високою хімічною стійкістю та термостійкістю. Варіанти розмірів:
Доступні у стандартних розмірах пластин 8 та 12 дюймів.
Можливе виготовлення нестандартних розмірів на основі конкретних вимог. Товщина:
Стандартна товщина становить 725 ± 25 мкм.
Доступна налаштовувана товщина для задоволення різних промислових потреб.
Теплові властивості:
Відмінна термостабільність, підходить для використання в умовах високих температур.
Висока стійкість до теплових ударів.
Хімічна стійкість:
Висока стійкість до корозії від кислот, лугів та більшості хімічних речовин, особливо в BF33.
Оптичні властивості:
Пластини JGS1 та JGS2 забезпечують високий коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому (УФ), видимому та інфрачервоному (ІЧ) діапазонах.
Ідеально підходить для прецизійних оптичних компонентів, фотоніки та лазерних застосувань.
Якість поверхні:
Висока площинність і гладкість поверхні, що забезпечує точність у виробництві напівпровідникових та оптичних пристроїв.
Ці властивості роблять пластини JGS1, JGS2 та BF33 універсальними та надійними для високопродуктивних застосувань у таких галузях, як оптика, електроніка та напівпровідники.
Загалом
Кварцові скляні пластини, виготовлені з JGS1, JGS2 та BF33, пропонують виняткову продуктивність у різноманітних вимогливих застосуваннях. Доступні у стандартних розмірах 8 та 12 дюймів з товщиною 725 ± 25 мкм, ці пластини також можна налаштовувати відповідно до конкретних вимог. JGS1 та JGS2 забезпечують високу оптичну пропусканість в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах, тоді як BF33 пропонує чудову хімічну стійкість та термостабільність. Завдяки високій площинності та гладкості поверхні ці пластини ідеально підходять для точних галузей промисловості, таких як напівпровідники, оптика та фотоніка, забезпечуючи надійність та довговічність в екстремальних умовах та критичних застосуваннях.
Детальна діаграма

