Штифти для підйому пластини преміум-класу з сапфіру, монокристалічний Al₂O₃
Технічні параметри
| Хімічний склад | Al2O3 |
| Твердість | 9Моос |
| Оптична природа | Одноосьовий |
| Показник заломлення | 1,762-1,770 |
| Подвійне променезаломлення | 0,008-0,010 |
| Дисперсія | Низький, 0,018 |
| Блиск | Склоподібне тіло |
| Плеохроїзм | Помірний до сильного |
| Діаметр | 0,4 мм-30 мм |
| Допуск діаметра | 0,004 мм-0,05 мм |
| довжина | 2 мм-150 мм |
| допуск довжини | 0,03 мм-0,25 мм |
| Якість поверхні | 40/20 |
| Округлість поверхні | РЗ0.05 |
| Власна форма | обидва кінці плоскі, один кінець звужений, обидва кінці звужені, сідельні штифти та спеціальні форми |
Основні характеристики
1. Виняткова твердість та зносостійкість: Маючи твердість за шкалою Мооса 9, поступаючись лише алмазу, сапфірові підйомні штифти демонструють характеристики зносу, які значно перевершують традиційні альтернативи з карбіду кремнію, оксиду алюмінію, кераміки або металевих сплавів. Ця надзвичайна твердість призводить до значного зниження утворення твердих частинок та вимог до обслуговування, а термін служби зазвичай у 3-5 разів довший, ніж у звичайних матеріалів у порівнянних застосуваннях.
2. Чудова стійкість до високих температур: Розроблені для тривалої роботи за температур понад 1000°C без деградації, сапфірові підйомні штифти зберігають стабільність розмірів та механічну міцність у найвимогливіших термічних процесах. Це робить їх особливо цінними для критично важливих застосувань, таких як хімічне осадження з парової фази (CVD), металоорганічне хімічне осадження з парової фази (MOCVD) та системи високотемпературного відпалу, де невідповідність теплового розширення може поставити під загрозу вихід процесу.
3. Хімічна інертність: Монокристалічна структура сапфіру демонструє чудову стійкість до впливу HF кислоти, хімічних речовин на основі хлору та інших агресивних технологічних газів, що зазвичай зустрічаються у виробництві напівпровідників. Ця хімічна стабільність забезпечує стабільну роботу в плазмових середовищах та запобігає утворенню поверхневих дефектів, які можуть призвести до забруднення пластини.
4. Низький рівень забруднення частинками: Виготовлені з бездефектних, високочистих кристалів сапфіру (зазвичай >99,99%), ці підйомні штифти демонструють мінімальне осипання частинок навіть після тривалого використання. Їхня непориста структура поверхні та поліроване покриття відповідають найсуворішим вимогам чистих приміщень, безпосередньо сприяючи підвищенню продуктивності процесів у виробництві передових напівпровідникових вузлів.
Високоточна обробка: Використовуючи передові методи алмазного шліфування та лазерної обробки, сапфірові підйомні штифти можуть виготовлятися з субмікронними допусками та поверхнею Ra нижче 0,05 мкм. Для вирішення конкретних проблем обробки пластин у виробничому обладнанні наступного покоління можна розробити спеціальні геометрії, включаючи конічні профілі, спеціальні конфігурації наконечників та інтегровані функції вирівнювання.
Основні застосування
1. Виробництво напівпровідників: Сапфірові підйомні штифти відіграють вирішальну роль у передових системах обробки пластин, забезпечуючи надійну підтримку та точне позиціонування під час фотолітографії, травлення, осадження та процесів контролю. Їхня термічна та хімічна стабільність робить їх особливо цінними в інструментах EUV-літографії та передових застосуваннях для упаковки, де розмірна стабільність у нанометровому масштабі є важливою.
2. Світлодіодна епітаксія (MOCVD): У системах епітаксіального росту на основі нітриду галію (GaN) та подібних складних напівпровідникових сполук, сапфірові підйомні штифти забезпечують стабільну підтримку пластини за температур, що часто перевищують 1000°C. Їхні узгоджені характеристики теплового розширення з сапфіровими підкладками мінімізують вигин пластини та утворення ковзання під час процесу епітаксіального росту.
3. Фотоелектрична промисловість: Виробництво високоефективних сонячних елементів використовує унікальні властивості сапфіру в процесах високотемпературної дифузії, спікання та нанесення тонких плівок. Зносостійкість контактів особливо цінна в умовах масового виробництва, де довговічність компонентів безпосередньо впливає на виробничі витрати.
4. Прецизійна оптика та обробка електроніки: Окрім напівпровідникових застосувань, сапфірові підйомні штифти знаходять застосування для обробки делікатних оптичних компонентів, пристроїв MEMS та спеціальних підкладок, де критично важлива обробка без забруднення та запобігання подряпинам. Їхні електроізоляційні властивості роблять їх ідеальними для застосувань, пов'язаних з пристроями, чутливими до електростатики.
Послуги XKH щодо сапфірових підйомних штифтів
XKH надає комплексну технічну підтримку та індивідуальні рішення для сапфірових підйомних штифтів:
1. Послуги з розробки на замовлення
· Підтримка налаштування розмірів, геометричних розмірів та обробки поверхні
· Рекомендації щодо вибору матеріалів та оптимізації технічних параметрів
· Спільне проектування продукту та перевірка моделювання
2. Можливості точного виробництва
· Високоточна обробка з контролем допусків у межах ±1 мкм
· Спеціальна обробка, включаючи дзеркальне полірування та зняття фаски на краях
· Додаткові рішення для модифікації поверхні, такі як антипригарні покриття
3. Система забезпечення якості
· Суворе впровадження вхідного контролю матеріалів та контролю процесів
· Повнорозмірний оптичний контроль та аналіз морфології поверхні
· Надання звітів про випробування експлуатаційних характеристик продукції
4. Послуги ланцюга поставок
· Швидка доставка стандартної продукції
· Спеціалізоване управління запасами для ключових клієнтів
5. Технічна підтримка
· Консультації з прикладних рішень
· Оперативне післяпродажне реагування
Ми прагнемо надавати високоякісні сапфірові підйомні штифти та професійні технічні послуги, щоб відповідати суворим вимогам напівпровідникової, світлодіодної та інших передових галузей промисловості.
