Візерунчаста сапфірова підкладка PSS 2 дюйми 4 дюйми 6 дюймів ICP сухе травлення може бути використана для світлодіодних чіпів
Основна характеристика
1. Характеристики матеріалу: Матеріалом підкладки є монокристалічний сапфір (Al₂O₃), що має високу твердість, високу термостійкість та хімічну стабільність.
2. Структура поверхні: Поверхня формується за допомогою фотолітографії та травлення у періодичні мікро-наноструктури, такі як конуси, піраміди або гексагональні масиви.
3. Оптичні характеристики: Завдяки дизайну поверхні з рельєфним малюнком зменшується повне відбиття світла на межі розділу та покращується ефективність вилучення світла.
4. Теплові характеристики: Сапфірова підкладка має чудову теплопровідність, що підходить для застосування у світлодіодах високої потужності.
5. Характеристики розмірів: Поширені розміри: 2 дюйми (50,8 мм), 4 дюйми (100 мм) та 6 дюймів (150 мм).
Основні області застосування
1. Виробництво світлодіодів:
Покращена ефективність виведення світла: PSS зменшує втрати світла завдяки візерунчастому дизайну, значно покращуючи яскравість та світлову ефективність світлодіодів.
Покращена якість епітаксіального росту: візерунчаста структура забезпечує кращу основу для росту епітаксіальних шарів GaN та покращує продуктивність світлодіодів.
2. Лазерний діод (ЛД):
Потужні лазери: Висока теплопровідність і стабільність PSS підходять для потужних лазерних діодів, покращуючи продуктивність розсіювання тепла та надійність.
Низький пороговий струм: оптимізація епітаксіального росту, зменшення порогового струму лазерного діода та підвищення ефективності.
3. Фотодетектор:
Висока чутливість: Висока світлопропускання та низька щільність дефектів PSS покращують чутливість та швидкість відгуку фотодетектора.
Широкий спектральний діапазон: підходить для фотоелектричного детектування в ультрафіолетовому та видимому діапазоні.
4. Силова електроніка:
Опір високій напрузі: висока ізоляція та термостабільність сапфіру підходять для високовольтних силових пристроїв.
Ефективне розсіювання тепла: Висока теплопровідність покращує ефективність розсіювання тепла силовими пристроями та подовжує термін служби.
5. Радіочастотні пристрої:
Високочастотні характеристики: Низькі діелектричні втрати та висока термостабільність PSS підходять для високочастотних радіочастотних пристроїв.
Низький рівень шуму: Висока площинність та низька щільність дефектів зменшують шум пристрою та покращують якість сигналу.
6. Біосенсори:
Виявлення з високою чутливістю: Висока світлопроникність та хімічна стабільність PSS підходять для високочутливих біосенсорів.
Біосумісність: Біосумісність сапфіру робить його придатним для медичних застосувань та біодетекторів.
Візерунчаста сапфірова підкладка (PSS) з епітаксіальним матеріалом GaN:
Візерунчаста сапфірова підкладка (PSS) є ідеальною підкладкою для епітаксіального росту GaN (нітриду галію). Постійна решітки сапфіру близька до GaN, що може зменшити невідповідність решітки та дефекти під час епітаксіального росту. Мікронаноструктура поверхні PSS не тільки покращує ефективність вилучення світла, але й покращує якість кристалів епітаксіального шару GaN, тим самим покращуючи продуктивність та надійність світлодіода.
Технічні параметри
| Елемент | Візерунчаста сапфірова підкладка (2~6 дюймів) | ||
| Діаметр | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
| Товщина | 430 ± 25 мкм | 650 ± 25 мкм | 1000 ± 25 мкм |
| Орієнтація поверхні | Кут відхилення площини C (0001) до осі M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Площина C (0001) відхилена від осі A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Основна орієнтація на плоску поверхню | Площина А (11-20) ± 1,0° | ||
| Довжина основної плоскої поверхні | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
| R-площина | 9-та година | ||
| Оздоблення передньої поверхні | Візерунчастий | ||
| Оздоблення задньої поверхні | SSP: дрібно шліфований, Ra=0,8-1,2 мкм; DSP: епіполірований, Ra<0,3 нм | ||
| Лазерне маркування | Зворотній бік | ||
| ТТВ | ≤8 мкм | ≤10 мкм | ≤20 мкм |
| ЛУК | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм |
| ДЕФОРМАЦІЯ | ≤12 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Виключення краю | ≤2 мм | ||
| Специфікація шаблону | Структура форми | Купол, конус, піраміда | |
| Висота візерунка | 1,6~1,8 мкм | ||
| Діаметр візерунка | 2,75~2,85 мкм | ||
| Простір візерунка | 0,1~0,3 мкм | ||
Компанія XKH спеціалізується на постачанні високоякісних, індивідуально виготовлених візерунчастих сапфірових підкладок (PSS) з технічною підтримкою та післяпродажним обслуговуванням, щоб допомогти клієнтам досягти ефективних інновацій у галузі світлодіодів, дисплеїв та оптоелектроніки.
1. Високоякісне постачання PSS: візерунчасті сапфірові підкладки різних розмірів (2 дюйми, 4 дюйми, 6 дюймів) для задоволення потреб світлодіодних, дисплейних та оптоелектронних пристроїв.
2. Індивідуальний дизайн: налаштуйте поверхневу мікро-наноструктуру (наприклад, конус, піраміда або гексагональний масив) відповідно до потреб замовника для оптимізації ефективності вилучення світла.
3. Технічна підтримка: надання розробки застосунків PSS, оптимізація процесів та технічні консультації, щоб допомогти клієнтам покращити продуктивність продукту.
4. Підтримка епітаксіального росту: PSS, узгоджений з епітаксіальним матеріалом GaN, забезпечує високоякісний епітаксіальний рост шарів.
5. Тестування та сертифікація: Надайте звіт про перевірку якості PSS, щоб переконатися, що продукція відповідає галузевим стандартам.
Детальна діаграма
