SiC N-типу на кремнієвих композитних підкладках діаметром 6 дюймів

等级Оцінка

U 级

P级

D级

Низький ступінь BPD

Сорт виробництва

Підставна оцінка

直径Діаметр

150,0 мм±0,25 мм

厚度Товщина

500 мкм±25 мкм

晶片方向Орієнтація пластин

Поза віссю: 4,0° у бік < 11-20 > ±0,5° для 4H-N На осі: <0001>±0,5° для 4H-SI

主定位边方向Первинна квартира

{10-10}±5,0°

主定位边长度Первинна плоска довжина

47,5 мм±2,5 мм

边缘Виключення країв

3 мм

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Лук/Деформація

≤15 мкм / ≤ 40 мкм / ≤ 60 мкм

微管密度和基面位错MPD & BPD

MPD≤1 см-2

MPD≤5 см-2

MPD≤15 см-2

BPD≤1000 см-2

电阻率Питомий опір

≥1E5 Ω·см

表面粗糙度Шорсткість

Польський Ra≤1 нм

CMP Ra≤0,5 нм

裂纹(强光灯观测) #

Жодного

Сумарна довжина ≤10 мм, одинична довжина ≤2 мм

Тріщини високої інтенсивності світла

六方空洞（强光灯观测)*

Сукупна площа ≤1%

Сукупна площа ≤5%

Шестигранні пластини високої інтенсивності світла

多型(强光灯观测)*

Жодного

Сукупна площа≤5%

Політипові області високої інтенсивності світла

划痕(强光灯观测)*&

3 подряпини до 1 × діаметр пластини

5 подряпин на 1 × діаметр пластини

Подряпини світлом високої інтенсивності

кумулятивна довжина

кумулятивна довжина

崩边# Граничний чіп

Жодного

Дозволено 5, ≤1 мм кожен

表面污染物（强光灯观测）

Жодного

Зараження світлом високої інтенсивності