LiTaO3 пластина 2-8 дюймів 10x10x0,5 мм 1sp 2sp для зв'язку 5G/6G
Технічні параметри
Ім'я | LiTaO3 оптичного класу | Рівень звуку LiTaO3 |
Осьовий | Z-різ +/- 0,2° | 36° Y-різ / 42° Y-різ / X-різ (+ / - 0,2 °) |
Діаметр | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2 мм | 76,2 мм +/-0,3 мм 100 мм +/-0,3 мм 0 або 150±0,5 мм |
Базова площина | 22 мм +/- 2 мм | 22 мм +/- 2 мм 32 мм +/- 2 мм |
Товщина | 500 мкм +/- 5 мм 1000 мкм +/-5 мм | 500 мкм +/-20 мм 350 мкм +/-20 мм |
ТТВ | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
Температура Кюрі | 605 °C +/- 0,7 °C (метод ДТА) | 605 °C +/-3 °C (метод ДТА) |
Якість поверхні | Двостороннє полірування | Двостороннє полірування |
Скошені краї | заокруглення країв | заокруглення країв |
Ключові характеристики
1. Електричні та оптичні характеристики
· Електрооптичний коефіцієнт: r33 досягає 30 пм/В (X-cut), що в 1,5 рази вище, ніж у LiNbO3, що дозволяє здійснювати надширокосмугову електрооптичну модуляцію (смуга пропускання >40 ГГц).
· Широкий спектральний діапазон: діапазон пропускання 0,4–5,0 мкм (товщина 8 мм) з краєм ультрафіолетового поглинання до 280 нм, ідеально підходить для УФ-лазерів та квантових точок.
· Низький піроелектричний коефіцієнт: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(м²·K), що забезпечує стабільність у високотемпературних інфрачервоних датчиках.
2. Теплові та механічні властивості
· Висока теплопровідність: 4,6 Вт/м·K (X-розріз), що в чотири рази більше, ніж у кварцу, витримує циклічні температури від -200 до 500°C.
· Низький коефіцієнт теплового розширення: КТР = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), сумісний із силіконовою упаковкою для мінімізації теплового напруження.
3. Контроль дефектів та точність обробки
· Густина мікротрубок: <0,1 см⁻² (8-дюймові пластини), густина дислокацій <500 см⁻² (перевірено травленням KOH).
· Якість поверхні: полірована методом CMP до Ra <0,5 нм, що відповідає вимогам площинності для літографії EUV.
Ключові застосування
Домен | Сценарії застосування | Технічні переваги |
Оптичний зв'язок | 100G/400G DWDM лазери, гібридні модулі кремнієвої фотоніки | Широке спектральне пропускання пластини LiTaO3 та низькі втрати у хвилеводі (α <0,1 дБ/см) дозволяють розширити C-діапазон. |
5G/6G зв'язок | Фільтри SAW (1,8–3,5 ГГц), фільтри BAW-SMR | Пластини з кутом Y-розрізу 42° досягають Kt² >15%, забезпечуючи низькі втрати внесення (<1,5 дБ) та високий спад (>30 дБ). |
Квантові технології | Однофотонні детектори, параметричні джерела перетворення на спад | Високий нелінійний коефіцієнт (χ(2)=40 пм/В) та низька швидкість темнового рахунку (<100 відліків/с) підвищують квантову точність. |
Промислові датчики | Високотемпературні датчики тиску, трансформатори струму | П'єзоелектрична характеристика пластини LiTaO3 (g33 >20 мВ/м) та стійкість до високих температур (>400°C) підходять для екстремальних умов. |
Послуги XKH
1. Виготовлення пластин на замовлення
· Розмір та різання: пластини 2–8 дюймів з розрізом X/Y/Z, розрізом 42°Y та спеціальними кутовими розрізами (допуск ±0,01°).
· Контроль легування: легування Fe, Mg методом Чохральського (діапазон концентрацій 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимізації електрооптичних коефіцієнтів та термічної стабільності.
2. Передові технологічні процеси
· Періодичне поляризування (PPLT): технологія Smart-Cut для пластин LTOI, що забезпечує точність періоду домену ±10 нм та квазіфазоузгоджене (QPM) перетворення частоти.
· Гетерогенна інтеграція: композитні пластини (POI) LiTaO3 на основі кремнію з контролем товщини (300–600 нм) та теплопровідністю до 8,78 Вт/м·K для високочастотних фільтрів на поліахорових хвилях (SAW).
3. Системи управління якістю
· Комплексне тестування: раманівська спектроскопія (перевірка політипів), рентгенівська дифракція (кристалічність), АСМ (морфологія поверхні) та тестування оптичної однорідності (Δn <5×10⁻⁵).
4. Підтримка глобального ланцюга поставок
· Виробнича потужність: щомісячний обсяг виробництва >5000 пластин (8 дюймів: 70%), з екстреною доставкою протягом 48 годин.
· Логістична мережа: Покриття в Європі, Північній Америці та Азіатсько-Тихоокеанському регіоні за допомогою авіа/морських перевезень з контрольованою температурою упаковки.


