Високочисті плавлені кварцові пластини для напівпровідникових, фотонних та оптичних застосувань 2″4″6″8″12″

Короткий опис:

Плавлений кварц— також відомий якПлавлений кремнезем— це некристалічна (аморфна) форма діоксиду кремнію (SiO₂). На відміну від боросилікатного чи іншого промислового скла, плавлений кварц не містить домішок чи добавок, пропонуючи хімічно чистий склад SiO₂. Він відомий своїм винятковим оптичним пропусканням як в ультрафіолетовому (УФ), так і в інфрачервоному (ІЧ) спектрах, перевершуючи традиційні скляні матеріали.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Плавлений кварцовий склопластик та оптичні пластини з кварцу-2

плавлена_кварцова_пластина_4_дюймова_пластина_з_плавленого_кремнезему_

Огляд кварцового скла

Кварцові пластини утворюють основу незліченних сучасних пристроїв, які рухають сучасний цифровий світ. Від навігації у вашому смартфоні до основи базових станцій 5G, кварц непомітно забезпечує стабільність, чистоту та точність, необхідні у високопродуктивній електроніці та фотоніці. Незалежно від того, чи підтримує він гнучкі схеми, чи забезпечує роботу MEMS-сенсорів, чи створює основу для квантових обчислень, унікальні характеристики кварцу роблять його незамінним у всіх галузях промисловості.

«Плавлений кварц» або «плавлений кварц» – це аморфна фаза кварцу (SiO2). На відміну від боросилікатного скла, плавлений кварц не має добавок; отже, він існує в чистому вигляді, SiO2. Плавлений кварц має вищу пропускну здатність в інфрачервоному та ультрафіолетовому спектрах порівняно зі звичайним склом. Плавлений кварц виготовляється шляхом плавлення та повторного затвердіння надчистого SiO2. Синтетичний плавлений кварц, з іншого боку, виготовляється з багатих на кремній хімічних прекурсорів, таких як SiCl4, які газифікуються, а потім окислюються в атмосфері H2 + O2. Пил SiO2, що утворюється в цьому випадку, сплавляється з кремнеземом на підкладці. Блоки плавленого кварцу розрізаються на пластини, після чого пластини остаточно поліруються.

Плавлені кремнеземні та оптичні кварцові скляні пластини

Основні характеристики та переваги кварцової скляної пластини

Надвисока чистота (≥99,99% SiO2)
Ідеально підходить для надчистих напівпровідникових та фотонних процесів, де забруднення матеріалів має бути мінімізоване.
Широкий тепловий робочий діапазон
Зберігає структурну цілісність від кріогенних температур до понад 1100°C без деформації або руйнування.
Чудове пропускання ультрафіолетового та інфрачервоного світла
Забезпечує чудову оптичну чіткість від глибокого ультрафіолетового (DUV) до ближнього інфрачервоного (NIR) діапазону, що підтримує прецизійні оптичні застосування.
Низький коефіцієнт теплового розширення
Підвищує розмірну стабільність за коливань температури, зменшуючи напруження та підвищуючи надійність процесу.
Чудова хімічна стійкість
Інертний до більшості кислот, лугів та розчинників, що робить його добре придатним для хімічно агресивних середовищ.
Гнучкість обробки поверхні
Доступні з надгладким, одностороннім або двостороннім полірованим покриттям, сумісні з вимогами фотоніки та MEMS.

Процес виробництва кварцової скляної пластини

Плавлені кварцові пластини виготовляються за допомогою серії контрольованих та точних кроків:

Вибір сировини
Вибір високочистого природного кварцу або синтетичних джерел SiO₂.
Плавлення та злиття
Кварц плавлять при температурі ~2000°C в електричних печах у контрольованій атмосфері для усунення включень та бульбашок.
Формування блоків
Розплавлений кремнезем охолоджують у тверді блоки або злитки.
Нарізка вафель
Для розрізання злитків на заготовки пластин використовуються прецизійні алмазні або дротові пилки.
Шліфування та полірування
Обидві поверхні вирівнюються та поліруються для точної відповідності оптичним характеристикам, товщині та шорсткості.
Очищення та огляд
Пластини очищуються в чистих приміщеннях класу ISO 100/1000 та піддаються ретельному контролю на наявність дефектів та відповідність розмірів.

Властивості кварцової скляної пластини

специфікація	одиниця	4"	6"	8"	10 дюймів	12 дюймів
Діаметр / розмір (або квадрат)	mm	100	150	200	250	300
Допуск (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Товщина	mm	0,10 або більше	0,30 або більше	0,40 або більше	0,50 або більше	0,50 або більше
Основна опорна плоска	mm	32,5	57,5	Напіввиїмка	Напіввиїмка	Напіввиїмка
LTV (5 мм × 5 мм)	мкм	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
ТТВ	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Лук	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Деформація	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 мм × 5 мм) < 0,4 мкм	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Заокруглення країв	mm	Відповідає стандарту SEMI M1.2 / див. IEC62276
Тип поверхні		Одностороннє полірування / Двостороннє полірування
Полірована сторона Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Критерії зворотного боку	мкм	загальний 0,2-0,7 або індивідуальний

Кварц проти інших прозорих матеріалів

Нерухомість	Кварцове скло	Боросилікатне скло	Сапфір	Стандартне скло
Максимальна робоча температура	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
УФ-пропускання	Відмінно (JGS1)	Бідний	Добре	Дуже погано
Хімічна стійкість	Відмінно	Помірний	Відмінно	Бідний
Чистота	Надзвичайно високий	Від низького до помірного	Високий	Низький
Теплове розширення	Дуже низький	Помірний	Низький	Високий
Вартість	Від середнього до високого	Низький	Високий	Дуже низький

Часті питання щодо кварцової скляної пластини

Q1: Яка різниця між плавленим кварцом та плавленим кремнеземом?
Хоча обидва є аморфними формами SiO₂, плавлений кварц зазвичай походить з природних джерел кварцу, тоді як плавлений кремнезем виробляється синтетично. Функціонально вони пропонують подібні характеристики, але плавлений кремнезем може мати дещо вищу чистоту та однорідність.

Q2: Чи можна використовувати плавлені кварцові пластини у високовакуумних середовищах?
Так. Завдяки низькому газовиділенню та високій термостійкості, плавлені кварцові пластини чудово підходять для вакуумних систем та аерокосмічного застосування.

Q3: Чи підходять ці пластини для застосування в лазерах глибокого ультрафіолетового випромінювання?
Абсолютно. Плавлений кварц має високий коефіцієнт пропускання аж до ~185 нм, що робить його ідеальним для оптики DUV, літографічних масок та ексимерних лазерних систем.

Q4: Чи підтримуєте ви виготовлення пластин на замовлення?
Так. Ми пропонуємо повне налаштування, включаючи діаметр, товщину, якість поверхні, плоскі/надрізні поверхні та лазерне малювання, відповідно до ваших конкретних вимог до застосування.

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.

Сапфірова пластина-заготовка високочистої необробленої сапфірової підкладки для обробки 5