Високопродуктивний кінцевий ефектор (вилчастий важіль) з глиноземної кераміки для автоматизації напівпровідників та чистих приміщень

Короткий опис:

Керамічний кінцевий ефектор з глинозему, також відомий як керамічна вилка або роботизована керамічна рука, — це високоточний маніпулюючий компонент, призначений для автоматизованих систем у напівпровідникових, фотоелектричних, панельних дисплеях та високочистих лабораторних середовищах. Він розроблений для забезпечення виняткової термічної стабільності, механічної жорсткості та хімічної стійкості, забезпечуючи чисте, надійне та безпечне транспортування чутливих матеріалів, таких як кремнієві пластини, скляні підкладки та електронні мікрокомпоненти.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Вступ до продукту

Як різновид роботизованого кінцевого ефектора, цей керамічний компонент є кінцевим інтерфейсом між системою автоматизації та заготовкою. Він відіграє вирішальну роль у задачах точного переміщення, вирівнювання, завантаження/розвантаження та позиціонування в чистих приміщеннях та вакуумному середовищі.

керамічний-тримач-для-приводу-пластин-напівпровідників-G13

керамічний-тримач-для-приводу-пластин-напівпровідників-G10

керамічний-тримач-для-приводу-пластин-напівпровідників-G07

Огляд матеріалів – глиноземна кераміка (Al₂O₃)

Алюмооксидна кераміка — це високостабільний та хімічно інертний технічний керамічний матеріал, відомий своїми чудовими механічними та електричними властивостями. Високочистий (≥ 99,5%) оксид алюмінію, що використовується в цих кінцевих ефекторах, забезпечує:

Висока твердість (за шкалою Мооса 9)Поступаючи лише алмазу, оксид алюмінію забезпечує надзвичайну зносостійкість.
Здатність до високих температурЗберігає структурну цілісність за температур вище 1600°C.
Хімічна інертністьСтійкий до кислот, лугів, розчинників та середовищ плазмового травлення.
Електрична ізоляціяЗ високою діелектричною міцністю та низькими діелектричними втратами.
Низьке теплове розширенняЗабезпечує стабільність розмірів в умовах циклічної зміни температури.
Низький рівень утворення частинокНеобхідний для сумісності з чистими приміщеннями (клас 10 - 1000).

Ці характеристики роблять алюмінієву кераміку ідеальною для критично важливих операцій у галузях промисловості, чутливих до забруднення.

Функціональні програми

Кінцевий ефектор з глиноземної кераміки широко застосовується у високотехнологічних промислових процесах, особливо там, де традиційні металеві або пластикові матеріали не відповідають вимогам через теплове розширення, забруднення або корозію. Основні сфери застосування включають:

Перенесення напівпровідникових пластин
Системи завантаження та розвантаження фотолітографії
Обробка скляної підкладки в лінійках OLED та LCD
Перенесення кристалічних кремнієвих пластин у виробництві сонячних елементів
Автоматизована оптична або мікроелектронна перевірка
Транспортування зразків в аналітичних або біомедичних лабораторіях
Системи автоматизації вакуумного середовища

Його здатність працювати без внесення частинок або статичного заряду робить його незамінним для точних роботизованих операцій в автоматизації чистих приміщень.

Особливості дизайну та налаштування

Кожен керамічний кінцевий ефектор розроблений для використання з певною роботизованою рукою або системою обробки пластин. Ми підтримуємо повну кастомізацію на основі:

Сумісність розмірів пластин2", 4", 6", 8", 12 дюймів і більше
Геометрія та відстань між пазамиЗабезпечує захоплення країв, підтримку задньої сторони або дизайн пластини з виїмкою
Всмоктувальні отвориВбудовані вакуумні отвори або канали для безконтактного керування
Конфігурація монтажуОтвори, різьба, пази, адаптовані до фланця торцевого інструменту вашого робота
Обробка поверхніПолірована, притирана або тонко шліфована поверхня (доступне значення Ra < 0,2 мкм)
Захист краївЗакруглені кути або фаска для запобігання пошкодженню пластини

Використовуючи креслення САПР або 3D-моделі, надані клієнтами, наші інженери можуть оптимізувати кожен важіль вилки за вагою, міцністю та чистотою.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Переваги керамічних кінцевих ефекторів

Функція	Вигода
Висока механічна жорсткість	Зберігає точність розмірів під дією сил роботизованого навантаження
Відмінні теплові характеристики	Надійно працює в умовах високих температур або плазми
Нульове забруднення металами	Відсутність ризику іонного забруднення під час критичної обробки напівпровідників
Поверхня з низьким тертям	Зменшує ризик подряпин на пластинах або скляних підкладках
Антистатичний та немагнітний	Не притягує пил та не впливає на магніточутливі компоненти
Тривалий термін служби	Чудова зносостійкість у повторюваних високошвидкісних циклах автоматизації
Ультрачиста сумісність	Підходить для чистих приміщень за стандартом ISO 14644 (клас 100 і нижче)

Порівняно з пластиковими або алюмінієвими кронштейнами, алюмокераміка забезпечує значно покращену хімічну та фізичну стабільність з мінімальними вимогами до обслуговування.

Нерухомість	Металева рука	Пластикова рука	Керамічна рука з глинозему
Твердість	Помірний	Низький	Дуже високий (за шкалою Мооса 9)
Термічна стабільність	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Хімічна стійкість	Помірний	Бідний	Відмінно
Придатність для чистих приміщень	Середній	Низький	Дуже високий
Зносостійкість	Середній	Низький	Видатний
Електрична міцність	Низький	Середній	Високий
Точність обробки на замовлення	Обмежена	Помірний	Високий (можливо ±0,01 мм)

Технічні характеристики

Параметр	Значення
Матеріал	Високочистий глинозем (≥ 99,5%)
Робоча температура	До 1600°C
Шорсткість поверхні	Ra ≤ 0,2 мкм (необов'язково)
Сумісні розміри пластин	Від 2 до 12 дюймів або на замовлення
Допуск площинності	±0,01 мм (залежно від застосування)
Підтримка вакуумного відсмоктування	Додаткові канали, що налаштовуються
Варіанти монтажу	Наскрізні болти, фланці, прорізні отвори

Часті запитання (FAQ)

Q1: Чи можна інтегрувати кінцевий ефектор в існуючі роботизовані системи?
А1:Так. Ми підтримуємо налаштування на основі вашого робототехнічного інтерфейсу. Ви можете надіслати нам креслення CAD або розміри фланців для точної адаптації.

Q2: Чи легко зламаються керамічні дужки під час використання?
А2:Хоча кераміка за своєю природою крихка, наші конструкції використовують оптимізовану геометрію для мінімізації концентрації напружень. За належних умов використання вони забезпечують значно довший термін служби, ніж метал або пластик.

Q3: Чи можливо використовувати це в камерах надвисокого вакууму або плазмового травлення?
А3:Так. Алюмооксидна кераміка не виділяє газів, є термічно стабільною та стійкою до корозії — ідеально підходить для середовищ високого вакууму, реактивних газів або плазми.

Q4: Як ці компоненти очищаються або обслуговуються?
А4:Їх можна чистити деіонізованою водою, спиртом або мийними засобами, сумісними з чистими приміщеннями. Завдяки їхній хімічній стійкості та інертній поверхні вони не потребують спеціального догляду.

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.