Діаметр 300x1,0 мм Товщина Сапфірова пластина C-площина SSP/DSP
Представлення вафельної коробки
Кристалічні матеріали | 99,999% Al2O3, висока чистота, монокристалічний, Al2O3 | |||
Кришталева якість | Включення, мітки блоків, двійники, колір, мікробульбашки та центри розсіювання відсутні | |||
Діаметр | 2 дюйми | 3 дюйми | 4 дюйми | 6 дюймів ~ 12 дюймів |
50,8±0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | Відповідно до положень типового виробництва | |
Товщина | 430±15 мкм | 550±15 мкм | 650±20 мкм | Може бути налаштований клієнтом |
Орієнтація | C-площина (0001) до M-площини (1-100) або A-площини (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-площини (1-1 0 2), A-площини (1 1-2 0), М-площина (1-1 0 0), будь-яка орієнтація, будь-який кут | |||
Первинна плоска довжина | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | Відповідно до положень типового виробництва |
Первинна плоска орієнтація | Площина А (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
LTV | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
МДП | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
ЛУК | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Деформація | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Передня поверхня | Епіполірований (Ra < 0,2 нм) |
*Напрямок: відхилення центральної точки середньої поверхні вільної, незатисненої пластини від базової площини, де базова площина визначається трьома кутами рівностороннього трикутника.
*Деформація: різниця між максимальною та мінімальною відстанями середньої поверхні вільної, незатисненої пластини від контрольної площини, визначеної вище.
Високоякісні продукти та послуги для напівпровідникових пристроїв наступного покоління та епітаксійного зростання:
Високий ступінь площинності (контрольований TTV, дужка, деформація тощо)
Високоякісне очищення (низьке забруднення частинками, низьке забруднення металом)
Свердління основи, канавки, різання та полірування задньої сторони
Додавання таких даних, як чистота та форма підкладки (необов’язково)
Якщо вам потрібні сапфірові підкладки, будь ласка, не соромтеся звертатися:
пошта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Ми повернемося до вас якомога швидше!