Сапфірова пластина діаметром 300x1,0 мм, товщина C-площини, SSP/DSP
Введення коробки вафель
Кристалічні матеріали | 99,999% Al2O3, високої чистоти, монокристалічний, Al2O3 | |||
Кришталева якість | Включення, блочні сліди, двійники, колір, мікробульбашки та центри розсіювання відсутні | |||
Діаметр | 2 дюйми | 3 дюйми | 4 дюйми | 6 дюймів ~ 12 дюймів |
50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | Відповідно до положень стандартного виробництва | |
Товщина | 430±15 мкм | 550±15 мкм | 650±20 мкм | Може бути налаштований клієнтом |
Орієнтація | Площина C (0001) до площини M (1-100) або площина A (11-20) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, площина R (1-102), площина A (11-20), площина M (1-100), будь-яка орієнтація, будь-який кут | |||
Основна довжина плоскої частини | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | Відповідно до положень стандартного виробництва |
Орієнтація первинної квартири | Площина А (11-20) ± 0,2° | |||
ТТВ | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Загалом за весь період | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
МДП | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
ЛУК | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Деформація | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Передня поверхня | Епі-полірування (Ra < 0,2 нм) |
*Вигин: Відхилення центральної точки серединної поверхні вільної, незатиснутої пластини від опорної площини, де опорна площина визначається трьома вершинами рівностороннього трикутника.
*Деформація: Різниця між максимальною та мінімальною відстанями медіанної поверхні вільної, незатиснутої пластини від опорної площини, визначеної вище.
Високоякісні продукти та послуги для напівпровідникових приладів наступного покоління та епітаксіального вирощування:
Високий ступінь площинності (контрольована TTV, вигин, деформація тощо)
Високоякісне очищення (низький рівень забруднення частинками, низький рівень забруднення металами)
Свердління основи, нарізання канавок, різання та полірування зворотного боку
Додавання таких даних, як чистота та форма субстрату (необов'язково)
Якщо вам потрібні сапфірові підкладки, будь ласка, звертайтеся до:
пошта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Ми повернемося до вас якомога швидше!
Детальна діаграма

