8-дюймова пластина SiC виробничого класу, підкладка 4H-N SiC
У наступній таблиці наведено характеристики наших 8-дюймових SiC-пластин:
| Технічні характеристики 8-дюймового N-типу SiC DSP | |||||
| Номер | Елемент | Одиниця | Виробництво | Дослідження | Манекен |
| 1: параметри | |||||
| 1.1 | політип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | орієнтація поверхні | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Електричний параметр | |||||
| 2.1 | легуюча речовина | -- | Азот n-типу | Азот n-типу | Азот n-типу |
| 2.2 | питомий опір | Ом·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механічний параметр | |||||
| 3.1 | діаметр | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | товщина | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Орієнтація виїмки | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Глибина виїмки | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | Загалом за весь період | мкм | ≤5 (10 мм * 10 мм) | ≤5 (10 мм * 10 мм) | ≤10 (10 мм * 10 мм) |
| 3.6 | ТТВ | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Лук | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Деформація | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | АСМ | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Структура | |||||
| 4.1 | щільність мікротруб | шт./см2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | вміст металу | атомів/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ТСД | шт./см2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | БЛД | шт./см2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ТЕД | шт./см2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Якість передньої частини | |||||
| 5.1 | передня частина | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | обробка поверхні | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | частинка | ea/вафля | ≤100 (розмір ≥0,3 мкм) | NA | NA |
| 5.4 | подряпина | ea/вафля | ≤5, Загальна довжина ≤200 мм | NA | NA |
| 5.5 | Край відколи/вм'ятини/тріщини/плями/забруднення | -- | Жоден | Жоден | NA |
| 5.6 | Політипні області | -- | Жоден | Площа ≤10% | Площа ≤30% |
| 5.7 | передня розмітка | -- | Жоден | Жоден | Жоден |
| 6: Якість спинки | |||||
| 6.1 | задня обробка | -- | С-подібний МП | С-подібний МП | С-подібний МП |
| 6.2 | подряпина | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Дефекти спини по краю відколи/відступи | -- | Жоден | Жоден | NA |
| 6.4 | Шорсткість спини | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Зворотне маркування | -- | Виїмка | Виїмка | Виїмка |
| 7:край | |||||
| 7.1 | край | -- | Фаска | Фаска | Фаска |
| 8: Пакет | |||||
| 8.1 | упаковка | -- | Епі-реагувати з вакуумом упаковка | Епі-реагувати з вакуумом упаковка | Епі-реагувати з вакуумом упаковка |
| 8.2 | упаковка | -- | Багатопластинний упаковка касет | Багатопластинний упаковка касет | Багатопластинний упаковка касет |
Детальна діаграма
Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам