8-дюймовий 200-міліметровий 4H-N SiC пластинчастий провідний манекен дослідницького класу

Короткий опис:

З розвитком ринків транспорту, енергетики та промисловості попит на надійну, високопродуктивну силову електроніку продовжує зростати. Щоб задовольнити потреби в покращених характеристиках напівпровідників, виробники пристроїв шукають напівпровідникові матеріали з широкою забороненою зоною, такі як наше портфоліо 4H SiC Prime Grade пластин з карбіду кремнію (SiC) 4H n-типу.


Деталі продукту

Теги продукту

Завдяки своїм унікальним фізичним та електронним властивостям, напівпровідниковий матеріал на основі 200-міліметрових пластин SiC використовується для створення високопродуктивних, високотемпературних, радіаційно-стійких та високочастотних електронних пристроїв. Ціна на 8-дюймову підкладку SiC поступово знижується, оскільки технології стають більш просунутими, а попит зростає. Останні технологічні розробки призвели до виробництва 200-міліметрових пластин SiC у серійних масштабах. Основні переваги напівпровідникових матеріалів на основі пластин SiC у порівнянні з пластинами Si та GaAs: Напруженість електричного поля 4H-SiC під час лавинного пробою більш ніж на порядок вища, ніж відповідні значення для Si та GaAs. Це призводить до значного зниження питомого опору увімкненого стану Ron. Низький питомий опір увімкненого стану в поєднанні з високою щільністю струму та теплопровідністю дозволяє використовувати дуже малий кристал для силових пристроїв. Висока теплопровідність SiC знижує тепловий опір чіпа. Електронні властивості пристроїв на основі пластин SiC дуже стабільні з часом та температурно, що забезпечує високу надійність виробів. Карбід кремнію надзвичайно стійкий до жорсткого випромінювання, що не погіршує електронні властивості чіпа. Висока гранична робоча температура кристала (більше 6000°C) дозволяє створювати високонадійні пристрої для важких умов експлуатації та спеціальних застосувань. Наразі ми можемо стабільно та безперервно постачати невеликі партії пластин SiC розміром 200 мм і мати певний запас на складі.

Специфікація

Номер Елемент Одиниця Виробництво Дослідження Манекен
1. Параметри
1.1 політип -- 4H 4H 4H
1.2 орієнтація поверхні ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Електричний параметр
2.1 легуюча речовина -- Азот n-типу Азот n-типу Азот n-типу
2.2 питомий опір Ом·см 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Механічний параметр
3.1 діаметр mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 товщина мкм 500±25 500±25 500±25
3.3 Орієнтація виїмки ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Глибина виїмки mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 Загалом за весь період мкм ≤5 (10 мм * 10 мм) ≤5 (10 мм * 10 мм) ≤10 (10 мм * 10 мм)
3.6 ТТВ мкм ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Лук мкм -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Деформація мкм ≤30 ≤50 ≤70
3.9 АСМ nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Структура
4.1 щільність мікротруб шт./см2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 вміст металу атомів/см2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 ТСД шт./см2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 БЛД шт./см2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 ТЕД шт./см2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Позитивна якість
5.1 передня частина -- Si Si Si
5.2 обробка поверхні -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 частинка ea/вафля ≤100 (розмір ≥0,3 мкм) NA NA
5.4 подряпина ea/вафля ≤5, Загальна довжина ≤200 мм NA NA
5.5 Край
відколи/вм'ятини/тріщини/плями/забруднення
-- Жоден Жоден NA
5.6 Політипні області -- Жоден Площа ≤10% Площа ≤30%
5.7 передня розмітка -- Жоден Жоден Жоден
6. Якість спинки
6.1 задня обробка -- С-подібний МП С-подібний МП С-подібний МП
6.2 подряпина mm NA NA NA
6.3 Дефекти спини по краю
відколи/відступи
-- Жоден Жоден NA
6.4 Шорсткість спини nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Зворотне маркування -- Виїмка Виїмка Виїмка
7. Край
7.1 край -- Фаска Фаска Фаска
8. Пакет
8.1 упаковка -- Епі-реагувати з вакуумом
упаковка
Епі-реагувати з вакуумом
упаковка
Епі-реагувати з вакуумом
упаковка
8.2 упаковка -- Багатопластинний
упаковка касет
Багатопластинний
упаковка касет
Багатопластинний
упаковка касет

Детальна діаграма

8-дюймовий SiC03
8-дюймовий SiC4
8-дюймовий SiC5
8-дюймовий SiC6

  • Попередній:
  • Далі:

  • Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам