8-дюймовий 200-міліметровий 4H-N SiC пластинчастий провідний манекен дослідницького класу
Завдяки своїм унікальним фізичним та електронним властивостям, напівпровідниковий матеріал на основі 200-міліметрових пластин SiC використовується для створення високопродуктивних, високотемпературних, радіаційно-стійких та високочастотних електронних пристроїв. Ціна на 8-дюймову підкладку SiC поступово знижується, оскільки технології стають більш просунутими, а попит зростає. Останні технологічні розробки призвели до виробництва 200-міліметрових пластин SiC у серійних масштабах. Основні переваги напівпровідникових матеріалів на основі пластин SiC у порівнянні з пластинами Si та GaAs: Напруженість електричного поля 4H-SiC під час лавинного пробою більш ніж на порядок вища, ніж відповідні значення для Si та GaAs. Це призводить до значного зниження питомого опору увімкненого стану Ron. Низький питомий опір увімкненого стану в поєднанні з високою щільністю струму та теплопровідністю дозволяє використовувати дуже малий кристал для силових пристроїв. Висока теплопровідність SiC знижує тепловий опір чіпа. Електронні властивості пристроїв на основі пластин SiC дуже стабільні з часом та температурно, що забезпечує високу надійність виробів. Карбід кремнію надзвичайно стійкий до жорсткого випромінювання, що не погіршує електронні властивості чіпа. Висока гранична робоча температура кристала (більше 6000°C) дозволяє створювати високонадійні пристрої для важких умов експлуатації та спеціальних застосувань. Наразі ми можемо стабільно та безперервно постачати невеликі партії пластин SiC розміром 200 мм і мати певний запас на складі.
Специфікація
Номер | Елемент | Одиниця | Виробництво | Дослідження | Манекен |
1. Параметри | |||||
1.1 | політип | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | орієнтація поверхні | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Електричний параметр | |||||
2.1 | легуюча речовина | -- | Азот n-типу | Азот n-типу | Азот n-типу |
2.2 | питомий опір | Ом·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Механічний параметр | |||||
3.1 | діаметр | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | товщина | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Орієнтація виїмки | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Глибина виїмки | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | Загалом за весь період | мкм | ≤5 (10 мм * 10 мм) | ≤5 (10 мм * 10 мм) | ≤10 (10 мм * 10 мм) |
3.6 | ТТВ | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Лук | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Деформація | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | АСМ | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4. Структура | |||||
4.1 | щільність мікротруб | шт./см2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | вміст металу | атомів/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | ТСД | шт./см2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | БЛД | шт./см2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | ТЕД | шт./см2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Позитивна якість | |||||
5.1 | передня частина | -- | Si | Si | Si |
5.2 | обробка поверхні | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
5.3 | частинка | ea/вафля | ≤100 (розмір ≥0,3 мкм) | NA | NA |
5.4 | подряпина | ea/вафля | ≤5, Загальна довжина ≤200 мм | NA | NA |
5.5 | Край відколи/вм'ятини/тріщини/плями/забруднення | -- | Жоден | Жоден | NA |
5.6 | Політипні області | -- | Жоден | Площа ≤10% | Площа ≤30% |
5.7 | передня розмітка | -- | Жоден | Жоден | Жоден |
6. Якість спинки | |||||
6.1 | задня обробка | -- | С-подібний МП | С-подібний МП | С-подібний МП |
6.2 | подряпина | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Дефекти спини по краю відколи/відступи | -- | Жоден | Жоден | NA |
6.4 | Шорсткість спини | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Зворотне маркування | -- | Виїмка | Виїмка | Виїмка |
7. Край | |||||
7.1 | край | -- | Фаска | Фаска | Фаска |
8. Пакет | |||||
8.1 | упаковка | -- | Епі-реагувати з вакуумом упаковка | Епі-реагувати з вакуумом упаковка | Епі-реагувати з вакуумом упаковка |
8.2 | упаковка | -- | Багатопластинний упаковка касет | Багатопластинний упаковка касет | Багатопластинний упаковка касет |
Детальна діаграма



