8-дюймова пластина з карбіду кремнію SiC типу 4H-N товщиною 0,5 мм, полірована підкладка дослідницького класу виробничого класу.
Основні характеристики 8-дюймової підкладки з карбіду кремнію типу 4H-N включають:
1. Щільність мікротрубочок: ≤ 0,1/см² або нижче, наприклад, у деяких продуктах щільність мікротрубочок значно знижена до менш ніж 0,05/см².
2. Співвідношення кристалічних форм: співвідношення кристалічних форм 4H-SiC досягає 100%.
3. Питомий опір: 0,014~0,028 Ом·см, або стабільніший між 0,015-0,025 Ом·см.
4. Шорсткість поверхні: CMP Si Face Ra ≤ 0,12 нм.
5. Товщина: зазвичай 500,0±25 мкм або 350,0±25 мкм.
6. Кут фаски: 25±5° або 30±5° для A1/A2 залежно від товщини.
7. Загальна щільність дислокацій: ≤3000/см².
8. Забруднення поверхні металом: ≤1E+11 атомів/см².
9. Згинання та деформація: ≤ 20 мкм та ≤ 2 мкм відповідно.
Ці характеристики роблять 8-дюймові карбід-кремнієві підкладки важливими для застосування у виробництві високотемпературних, високочастотних та потужних електронних пристроїв.
8-дюймова пластина з карбіду кремнію має кілька застосувань.
1. Силові пристрої: Пластини SiC широко використовуються у виробництві силових електронних пристроїв, таких як потужні MOSFET (польові транзистори на основі метал-оксид-напівпровідника), діоди Шотткі та модулі інтеграції живлення. Завдяки високій теплопровідності, високій напрузі пробою та високій рухливості електронів SiC, ці пристрої можуть досягати ефективного та високопродуктивного перетворення енергії в середовищах високої температури, високої напруги та високої частоти.
2. Оптоелектронні пристрої: Пластини SiC відіграють життєво важливу роль в оптоелектронних пристроях, використовуються для виготовлення фотодетекторів, лазерних діодів, джерел ультрафіолетового випромінювання тощо. Чудові оптичні та електронні властивості карбіду кремнію роблять його матеріалом вибору, особливо в застосуваннях, що потребують високих температур, високих частот і високих рівнів потужності.
3. Радіочастотні (РЧ) пристрої: Чіпи SiC також використовуються для виробництва РЧ-пристроїв, таких як РЧ-підсилювачі потужності, високочастотні перемикачі, РЧ-датчики тощо. Висока термостабільність, високочастотні характеристики та низькі втрати SiC роблять його ідеальним для РЧ-застосунків, таких як бездротовий зв'язок та радіолокаційні системи.
4. Високотемпературна електроніка: Завдяки високій термостабільності та температурній еластичності, пластини SiC використовуються для виробництва електронних виробів, призначених для роботи в умовах високих температур, включаючи високотемпературну силову електроніку, датчики та контролери.
Основні напрямки застосування 8-дюймової карбід-кремнієвої підкладки типу 4H-N включають виробництво високотемпературних, високочастотних та потужних електронних пристроїв, особливо в галузях автомобільної електроніки, сонячної енергетики, вітроенергетики, електровозів, серверів, побутової техніки та електромобілів. Крім того, такі пристрої, як SiC MOSFET та діоди Шотткі, продемонстрували чудову продуктивність при перемиканні частот, експериментах з коротким замиканням та інверторних застосуваннях, що зумовило їх використання в силовій електроніці.
XKH може бути виготовлений з різною товщиною відповідно до вимог замовника. Доступні різні ступені шорсткості поверхні та способи полірування. Підтримуються різні типи легування (наприклад, легування азотом). XKH може надати технічну підтримку та консультаційні послуги, щоб клієнти могли вирішувати проблеми в процесі використання. 8-дюймова карбід-кремнієва підкладка має значні переваги з точки зору зниження вартості та збільшення продуктивності, що може знизити вартість одиниці чіпа приблизно на 50% порівняно з 6-дюймовою підкладкою. Крім того, збільшена товщина 8-дюймової підкладки допомагає зменшити геометричні відхилення та деформацію кромок під час обробки, тим самим підвищуючи вихід продукції.
Детальна діаграма


