6-дюймова пластина SiC Epitaxiy типу N/P приймається на замовлення

Процес виготовлення епітаксійної пластини карбіду кремнію — це метод із використанням технології хімічного осадження з парової фази (CVD). Нижче наведено відповідні технічні принципи та етапи процесу підготовки:

Технічний принцип:

Хімічне осадження з парової фази: використання вихідного газу в газовій фазі за певних умов реакції розкладається та осідає на підкладці з утворенням бажаної тонкої плівки.

Реакція в газовій фазі: через реакцію піролізу або крекінгу різні гази сировини в газовій фазі хімічно змінюються в реакційній камері.

Етапи процесу підготовки:

Обробка підкладки: підкладка піддається очищенню поверхні та попередній обробці для забезпечення якості та кристалічності епітаксійної пластини.

Налагодження реакційної камери: відрегулюйте температуру, тиск і швидкість потоку реакційної камери та інші параметри для забезпечення стабільності та контролю умов реакції.

Подача сировини: подайте необхідну газову сировину в реакційну камеру, змішуючи та контролюючи швидкість потоку за потреби.

Процес реакції: шляхом нагрівання реакційної камери газоподібна сировина вступає в хімічну реакцію в камері з утворенням бажаного осаду, тобто плівки карбіду кремнію.

Охолодження та розвантаження: наприкінці реакції температуру поступово знижують, щоб охолодити та затвердіти відкладення в реакційній камері.

Відпал епітаксійної пластини та постобробка: нанесена епітаксіальна пластина відпалюється та постоброблюється для покращення її електричних та оптичних властивостей.

Конкретні етапи та умови процесу підготовки епітаксійної пластини карбіду кремнію можуть відрізнятися залежно від конкретного обладнання та вимог. Вище наведено лише загальний процес і принцип, конкретну операцію необхідно налаштувати та оптимізувати відповідно до фактичної ситуації.