150 мм 6 дюймів 0,7 мм 0,5 мм сапфірова пластина-носій для підкладки C-площини SSP/DSP
Застосування
Застосування 6-дюймових сапфірових пластин включає:
1. Виробництво світлодіодів: сапфірова пластина може бути використана як підкладка для світлодіодних чіпів, а її твердість та теплопровідність можуть покращити стабільність та термін служби світлодіодних чіпів.
2. Лазерне виробництво: Сапфірова пластина також може бути використана як підкладка для лазера, щоб покращити продуктивність лазера та подовжити термін служби.
3. Виробництво напівпровідників: Сапфірові пластини широко використовуються у виробництві електронних та оптоелектронних пристроїв, включаючи оптичний синтез, сонячні елементи, високочастотні електронні пристрої тощо.
4. Інші застосування: Сапфірова пластина також може бути використана для виробництва сенсорних екранів, оптичних пристроїв, тонкоплівкових сонячних елементів та інших високотехнологічних продуктів.
Специфікація
| Матеріал | Монокристалічний Al2O3 високої чистоти, сапфірова пластина. |
| Вимір | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймів |
| Товщина | 1300 +/- 25 мкм |
| Орієнтація | Площина C (0001) відхилена від площини M (1-100) на 0,2 +/- 0,05 градуса |
| Основна плоска орієнтація | Площина +/- 1 градус |
| Основна довжина плоскої частини | 47,5 мм +/- 1 мм |
| Загальна варіація товщини (TTV) | <20 мкм |
| Лук | <25 мкм |
| Деформація | <25 мкм |
| Коефіцієнт теплового розширення | 6,66 x 10⁻⁶ / °C паралельно осі C, 5 x 10⁻⁶ /°C перпендикулярно осі C |
| Електрична міцність | 4,8 x 10⁶ В/см |
| Діелектрична проникність | 11,5 (1 МГц) вздовж осі C, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно до осі C |
| Тангенс кута діелектричних втрат (він же коефіцієнт дисипації) | менше ніж 1 x 10⁻⁴ |
| Теплопровідність | 40 Вт/(мК) при 20℃ |
| Полірування | одностороннє полірування (SSP) або двостороннє полірування (DSP) Ra < 0,5 нм (за допомогою АСМ). Зворотна сторона пластини SSP була тонко шліфована до Ra = 0,8 - 1,2 мкм. |
| Пропускання | 88% +/-1% при 460 нм |
Детальна діаграма
