150 мм 6 дюймів 0,7 мм 0,5 мм Сапфірова пластина Носій C-площини SSP/DSP
Додатки
Застосування 6-дюймових сапфірових пластин включає:
1. Виробництво світлодіодів: сапфірову пластину можна використовувати як підкладку для світлодіодних чіпів, а її твердість і теплопровідність можуть покращити стабільність і термін служби світлодіодних чіпів.
2. Лазерне виробництво. Сапфірову пластину також можна використовувати як підкладку для лазера, щоб покращити продуктивність лазера та подовжити термін служби.
3. Виробництво напівпровідників: сапфірові пластини широко використовуються у виробництві електронних та оптоелектронних пристроїв, включаючи оптичний синтез, сонячні елементи, високочастотні електронні пристрої тощо.
4. Інші застосування: сапфірову пластину також можна використовувати для виготовлення сенсорних екранів, оптичних пристроїв, тонкоплівкових сонячних елементів та інших високотехнологічних продуктів.
Специфікація
матеріал | Високочистий монокристал Al2O3, сапфірова пластина. |
Розмір | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 дюймів |
Товщина | 1300 +/- 25 мкм |
Орієнтація | Площина C (0001) від площини M (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
Первинна плоска орієнтація | Площина +/- 1 градус |
Первинна плоска довжина | 47,5 мм +/- 1 мм |
Варіація загальної товщини (TTV) | <20 мкм |
Лук | <25 мкм |
Деформація | <25 мкм |
Коефіцієнт теплового розширення | 6,66 x 10-6 / °C паралельно осі C, 5 x 10-6 /°C перпендикулярно до осі C |
Діелектрична міцність | 4,8 x 105 В/см |
Діелектрична проникність | 11,5 (1 МГц) уздовж осі С, 9,3 (1 МГц) перпендикулярно до осі С |
Тангенс діелектричних втрат (він же коефіцієнт дисипації) | менше 1 х 10-4 |
Теплопровідність | 40 Вт/(мК) при 20 ℃ |
Полірування | одностороннє полірування (SSP) або двостороннє полірування (DSP) Ra < 0,5 нм (за АСМ). Зворотний бік SSP пластини був тонко відшліфований до Ra = 0,8 - 1,2 мкм. |
пропускання | 88% +/-1% при 460 нм |