4H/6H-P 6-дюймова пластина SiC, нульовий клас MPD, виробничий клас, фіктивний клас

Короткий опис:

6-дюймова пластина SiC типу 4H/6H-P — це напівпровідниковий матеріал, який використовується у виробництві електронних пристроїв і відомий своєю чудовою теплопровідністю, високою напругою пробою та стійкістю до високих температур і корозії. Виробничий клас і клас Zero MPD (Micro Pipe Defect) гарантують його надійність і стабільність у високопродуктивній силовій електроніці. Пластини виробничого класу використовуються для великомасштабного виробництва пристроїв із суворим контролем якості, тоді як пластини фіктивного класу в основному використовуються для налагодження процесів і тестування обладнання. Видатні властивості SiC роблять його широким застосуванням у високотемпературних, високовольтних і високочастотних електронних пристроях, таких як силові пристрої та радіочастотні пристрої.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Таблиця загальних параметрів для композитних підкладок SiC типу 4H/6H-P

6 Діаметр дюймів Підкладка з карбіду кремнію (SiC). Специфікація

Оцінка			Нульове виробництво MPDОцінка (З клас)	Стандартне виробництвоОцінка (П клас)	Фіктивна оцінка (D клас)
Діаметр			145,5 мм~150,0 мм
Товщина			350 мкм ± 25 мкм
Орієнтація пластин			-Offвісь: 2,0°-4,0° у бік [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, на осі: 〈111〉± 0,5° для 3C-N
Щільність мікротрубки			0 см-2
Питомий опір	p-тип 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏсм		≤0,3 Ωꞏсм
	n-тип 3C-N		≤0,8 мОм/см		≤1 м Ωꞏсм
Первинна плоска орієнтація		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Первинна плоска довжина			32,5 мм ± 2,0 мм
Вторинна плоска довжина			18,0 мм ± 2,0 мм
Вторинна плоска орієнтація			Силікон лицьовою стороною вгору: 90° CW. від основної площини ± 5,0°
Виключення краю			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Лук/Деформація			≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм		≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Шорсткість			Польський Ra≤1 нм
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Тріщини на краях світлом високої інтенсивності			Жодного		Сукупна довжина ≤ 10 мм, одинична довжина ≤ 2 мм
Шестигранні пластини від світла високої інтенсивності			Сукупна площа ≤0,05%		Сукупна площа ≤0,1%
Області політипу під світлом високої інтенсивності			Жодного		Сукупна площа≤3%
Візуальні включення вуглецю			Сукупна площа ≤0,05%		Сукупна площа ≤3%
Кремнієва поверхня подряпина світлом високої інтенсивності			Жодного		Сукупна довжина≤1 × діаметр пластини
Крайні чіпи високої інтенсивності світла			Не допускається ширина та глибина ≥0,2 мм		Дозволено 5, ≤1 мм кожен
Забруднення поверхні кремнієм високої інтенсивності			Жодного
Упаковка			Касета з кількома пластинами або одновафельний контейнер

Примітки:

※ Обмеження дефектів застосовуються до всієї поверхні пластини, за винятком зони виключення країв. # Подряпини слід перевіряти на поверхні Si o

6-дюймова пластина SiC типу 4H/6H-P із нульовим MPD і виробничим або фіктивним класом широко використовується в передових електронних додатках. Його чудова теплопровідність, висока напруга пробою та стійкість до агресивних середовищ роблять його ідеальним для силової електроніки, такої як високовольтні комутатори та інвертори. Клас Zero MPD забезпечує мінімальні дефекти, критичні для високонадійних пристроїв. Пластини виробничого класу використовуються у великомасштабному виробництві силових пристроїв і радіочастотних додатків, де продуктивність і точність є вирішальними. Пластини фіктивного класу, з іншого боку, використовуються для калібрування процесу, тестування обладнання та створення прототипів, що забезпечує послідовний контроль якості у середовищі виробництва напівпровідників.

Переваги композитних підкладок SiC N-типу включають

Висока теплопровідність: Пластина 4H/6H-P SiC ефективно розсіює тепло, що робить її придатною для високотемпературних і потужних електронних застосувань.
Висока напруга пробою: Його здатність справлятися з високою напругою без збоїв робить його ідеальним для силової електроніки та високовольтних комутаційних програм.
Нульовий MPD (мікродефект труби).: Мінімальна щільність дефектів забезпечує вищу надійність і продуктивність, критичну для вимогливих електронних пристроїв.
Виробничий рівень для масового виробництва: Підходить для великомасштабного виробництва високопродуктивних напівпровідникових пристроїв із суворими стандартами якості.
Фіктивний клас для тестування та калібрування: Забезпечує оптимізацію процесу, тестування обладнання та створення прототипів без використання високовартісних виробничих пластин.

Загалом 6-дюймові пластини SiC 4H/6H-P із нульовим MPD, виробничим та фіктивним класом пропонують значні переваги для розробки високопродуктивних електронних пристроїв. Ці пластини особливо корисні в додатках, що вимагають роботи при високій температурі, високої щільності потужності та ефективного перетворення енергії. Клас Zero MPD забезпечує мінімальні дефекти для надійної та стабільної роботи пристрою, тоді як пластини виробничого класу підтримують великомасштабне виробництво з суворим контролем якості. Фіктивні пластини є економічно ефективним рішенням для оптимізації процесу та калібрування обладнання, що робить їх незамінними для виготовлення високоточних напівпровідників.