4-дюймова пластина-підкладка з високочистого Al2O3 99,999% сапфіру діаметром 101,6 × 0,65 мм з основною плоскою довжиною
Опис
Загальні характеристики 4-дюймових сапфірових пластин представлені нижче:
Товщина: Товщина звичайних сапфірових пластин становить від 0,2 мм до 2 мм, а конкретну товщину можна налаштувати відповідно до вимог замовника.
Край розміщення: Зазвичай на краю пластини є невелика ділянка, яка називається «край розміщення», що захищає поверхню та край пластини і зазвичай є аморфною.
Підготовка поверхні: Звичайні сапфірові пластини механічно шліфуються та хімічно-механічно поліруються для згладжування поверхні.
Властивості поверхні: Поверхня сапфірових пластин зазвичай має хороші оптичні властивості, такі як низька відбивна здатність та низький показник заломлення, що покращує продуктивність пристрою.
Застосування
● Субстрат для росту сполук III-V та II-VI
● Електроніка та оптоелектроніка
● ІЧ-застосування
● Інтегральна схема на кремнієвому сапфірі (SOS)
● Радіочастотна інтегральна схема (RFIC)
Специфікація
Елемент | 4-дюймові сапфірові пластини C-площини (0001) 650 мкм | |
Кристалічні матеріали | 99,999%, висока чистота, монокристалічний Al2O3 | |
Оцінка | Прайм, готовий до епідеміологічної дії | |
Орієнтація поверхні | C-площина (0001) | |
Кут відхилення площини C відносно осі M 0,2 +/- 0,1° | ||
Діаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Товщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Основна орієнтація на плоску поверхню | Площина А (11-20) +/- 0,2° | |
Довжина основної плоскої поверхні | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
Одностороннє полірування | Передня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
(ППП) | Задня поверхня | Дрібно подрібнений, Ra = від 0,8 мкм до 1,2 мкм |
Двостороннє полірування | Передня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
(ДСП) | Задня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ЛУК | < 20 мкм | |
ДЕФОРМАЦІЯ | < 20 мкм | |
Очищення / Упаковка | Прибирання чистих приміщень класу 100 та вакуумне пакування, | |
25 штук в одній касетній упаковці або в упаковці по одному штуку. |
Ми маємо багаторічний досвід у галузі обробки сапфірів, зокрема на китайському ринку постачальників, а також на міжнародному ринку попиту. Якщо у вас є якісь потреби, будь ласка, звертайтеся до нас.
Детальна діаграма


