156 мм 159 мм 6-дюймова сапфірова пластина для несучої C-площини DSP TTV
Специфікація
Елемент | 6-дюймові сапфірові пластини C-площини (0001) | |
Кристалічні матеріали | 99,999%, висока чистота, монокристалічний Al2O3 | |
Оцінка | Прайм, готовий до епідеміологічної дії | |
Орієнтація поверхні | C-площина (0001) | |
Кут відхилення площини C відносно осі M 0,2 +/- 0,1° | ||
Діаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Товщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
Основна орієнтація на плоску поверхню | Площина C (00-01) +/- 0,2° | |
Одностороннє полірування | Передня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
(ППП) | Задня поверхня | Дрібно подрібнений, Ra = від 0,8 мкм до 1,2 мкм |
Двостороннє полірування | Передня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
(ДСП) | Задня поверхня | Епі-полірування, Ra < 0,2 нм (за допомогою АСМ) |
ТТВ | < 20 мкм | |
ЛУК | < 20 мкм | |
ДЕФОРМАЦІЯ | < 20 мкм | |
Очищення / Упаковка | Прибирання чистих приміщень класу 100 та вакуумне пакування, | |
25 штук в одній касетній упаковці або в упаковці по одному штуку. |
Метод Кілопулоса (метод KY) наразі використовується багатьма компаніями в Китаї для виробництва сапфірових кристалів, що використовуються в електронній та оптичній промисловості.
У цьому процесі високочистий оксид алюмінію плавиться в тиглі за температури вище 2100 градусів Цельсія. Зазвичай тигель виготовлений з вольфраму або молібдену. Точно орієнтований зародковий кристал занурюється в розплавлений оксид алюмінію. Зародковий кристал повільно витягується вгору і може одночасно обертатися. Завдяки точному контролю градієнта температури, швидкості витягування та швидкості охолодження, з розплаву можна отримати великий монокристалічний, майже циліндричний злиток.
Після вирощування злитків монокристалічного сапфіру їх свердлять у циліндричні стрижні, які потім розрізають до потрібної товщини вікна та, нарешті, полірують до бажаної якості поверхні.
Детальна діаграма


