12-дюймова (300 мм) транспортна коробка з переднім отвором, коробка для перенесення пластин FOSB, місткість 25 штук для обробки та доставки пластин, автоматизовані операції
Основні характеристики
| Функція | Опис |
| Місткість пластини | 25 слотівдля пластин розміром 300 мм, пропонуючи рішення високої щільності для транспортування та зберігання пластин. |
| Відповідність | ПовністюНАПІВ/ФІМСіAMHSсумісний, що забезпечує сумісність з автоматизованими системами обробки матеріалів на заводах напівпровідників. |
| Автоматизовані операції | Розроблено дляавтоматизована обробка, зменшуючи взаємодію з людиною та мінімізуючи ризики зараження. |
| Варіант ручного керування | Забезпечує гнучкість ручного доступу для ситуацій, що потребують втручання людини, або під час неавтоматизованих процесів. |
| Склад матеріалу | Виготовлено знадчисті матеріали з низьким газоутворенням, що зменшує ризик утворення частинок та забруднення. |
| Система утримання пластин | Розширенийсистема утримання пластинмінімізує ризик руху пластин під час транспортування, забезпечуючи їх надійну фіксацію. |
| Дизайн чистоти | Спеціально розроблений для зменшення ризику утворення та забруднення частинок, підтримуючи високі стандарти, необхідні для виробництва напівпровідників. |
| Довговічність та міцність | Виготовлено з високоміцних матеріалів, щоб витримувати суворі умови транспортування, зберігаючи при цьому структурну цілісність перевізника. |
| Налаштування | Пропозиціїпараметри налаштуваннядля різних розмірів пластин або вимог до транспортування, що дозволяє клієнтам адаптувати коробку до своїх потреб. |
Детальні характеристики
Місткість 25 слотів для пластин 300 мм
Тримач пластин eFOSB розроблений для розміщення до 25 пластин розміром 300 мм, причому кожен слот розташований точно на відстані один від одного для забезпечення надійного розміщення пластин. Конструкція дозволяє ефективно укладати пластини, запобігаючи контакту між пластинами, тим самим зменшуючи ризик подряпин, забруднення або механічних пошкоджень.
Автоматизована обробка
Коробка eFOSB оптимізована для використання з автоматизованими системами обробки матеріалів (AMHS), які допомагають оптимізувати переміщення пластин та збільшити продуктивність у виробництві напівпровідників. Завдяки автоматизації процесу, ризики, пов'язані з роботою людини, такі як забруднення або пошкодження, значно мінімізуються. Конструкція коробки eFOSB забезпечує автоматичну роботу з нею як у горизонтальному, так і у вертикальному положенні, що сприяє безперебійному та надійному процесу транспортування.
Варіант ручного керування
Хоча автоматизація є пріоритетом, блок eFOSB також сумісний з опціями ручного керування. Ця подвійна функціональність корисна в ситуаціях, коли необхідне втручання людини, наприклад, під час переміщення пластин у місця без автоматизованих систем або в ситуаціях, що вимагають додаткової точності чи обережності.
Ультрачисті матеріали з низьким газовиділенням
Матеріал, що використовується в корпусі eFOSB, спеціально підібраний завдяки своїм властивостям низького газовиділення, що запобігає виділенню летких сполук, які потенційно можуть забруднити пластини. Крім того, матеріали мають високу стійкість до частинок, що є критичним фактором для запобігання забрудненню під час транспортування пластин, особливо в середовищах, де чистота має першорядне значення.
Запобігання утворенню частинок
Конструкція коробки включає функції, спеціально спрямовані на запобігання утворенню частинок під час обробки. Це гарантує, що пластини залишаються вільними від забруднення, що є критично важливим у виробництві напівпровідників, де навіть найдрібніші частинки можуть спричинити значні дефекти.
Довговічність та надійність
Коробка eFOSB виготовлена з міцних матеріалів, які можуть витримувати фізичні навантаження під час транспортування, гарантуючи збереження її структурної цілісності з часом. Ця довговічність зменшує потребу в частій заміні, що робить її економічно ефективним рішенням у довгостроковій перспективі.
Параметри налаштування
Розуміючи, що кожна лінія виробництва напівпровідників може мати унікальні вимоги, корпус для пластин eFOSB пропонує варіанти налаштування. Будь то регулювання кількості слотів, зміна розміру корпусу чи використання спеціальних матеріалів, корпус eFOSB можна адаптувати до конкретних потреб клієнта.
Застосування
The12-дюймова (300 мм) транспортна коробка з переднім отвором (eFOSB)призначений для використання в різних сферах напівпровідникової промисловості, включаючи:
Обробка напівпровідникових пластин
Коробка eFOSB забезпечує безпечний та ефективний спосіб обробки 300-міліметрових пластин на всіх етапах виробництва, від початкового виготовлення до тестування та упаковки. Вона мінімізує ризики забруднення та пошкодження, що є критично важливим у виробництві напівпровідників, де точність та чистота є ключовими.
Зберігання вафель
У середовищах виробництва напівпровідників пластини повинні зберігатися за суворих умов для збереження їхньої цілісності. Носій eFOSB забезпечує безпечне зберігання, забезпечуючи безпечне, чисте та стабільне середовище, зменшуючи ризик деградації пластини під час зберігання.
Транспорт
Транспортування напівпровідникових пластин між різними об'єктами або в межах заводів вимагає надійного пакування для захисту делікатних пластин. Коробка eFOSB забезпечує оптимальний захист під час транспортування, гарантуючи, що пластини будуть доставлені без пошкоджень, що дозволить зберегти високий вихід продукції.
Інтеграція з AMHS
Блок eFOSB ідеально підходить для використання в сучасних автоматизованих напівпровідникових виробництвах, де ефективне поводження з матеріалами є важливим. Сумісність блоку з AMHS сприяє швидкому переміщенню пластин у межах виробничих ліній, підвищуючи продуктивність та мінімізуючи помилки обробки.
Ключові слова FOSB: запитання та відповіді
Q1: Що робить eFOSB-блок придатним для роботи з пластинами у виробництві напівпровідників?
А1:Коробка eFOSB розроблена спеціально для напівпровідникових пластин, забезпечуючи безпечне та стабільне середовище для їх обробки, зберігання та транспортування. Її відповідність стандартам SEMI/FIMS та AMHS гарантує безперешкодну інтеграцію з автоматизованими системами. Ультрачисті матеріали коробки з низьким газовиділенням та система утримання пластин мінімізують ризики забруднення та забезпечують цілісність пластини протягом усього процесу.
Q2: Як корпус eFOSB запобігає забрудненню під час транспортування пластини?
А2:Коробка eFOSB виготовлена з матеріалів, стійких до виділення газів, що запобігає виділенню летких сполук, які можуть забруднити пластини. Її конструкція також зменшує утворення частинок, а система утримання пластин надійно фіксує їх, мінімізуючи ризик механічних пошкоджень та забруднення під час транспортування.
Q3: Чи можна використовувати блок eFOSB як з ручними, так і з автоматизованими системами?
А3:Так, блок eFOSB універсальний і може використовуватися в обохавтоматизовані системита сценарії ручного керування. Він розроблений для автоматизованого керування, щоб зменшити втручання людини, але також дозволяє ручний доступ за потреби.
Q4: Чи можна налаштувати блок eFOSB для різних розмірів пластин?
А4:Так, блок eFOSB пропонуєпараметри налаштуваннящоб враховувати різні розміри пластин, конфігурації слотів або спеціальні вимоги до обробки, забезпечуючи відповідність унікальним потребам різних ліній виробництва напівпровідників.
Q5: Як блок eFOSB підвищує ефективність роботи з пластинами?
А5:Блок eFOSB підвищує ефективність, дозволяючиавтоматизовані операції, що зменшує потребу в ручному втручанні та спрощує транспортування пластин у межах напівпровідникового заводу. Його конструкція також гарантує безпеку пластин, мінімізуючи помилки обробки та покращуючи загальну пропускну здатність.
Висновок
12-дюймовий (300 мм) контейнер для транспортування з переднім відкривається вантажем (eFOSB) – це високонадійне та ефективне рішення для обробки, зберігання та транспортування пластин у виробництві напівпровідників. Завдяки своїм передовим функціям, відповідності галузевим стандартам та універсальності він надає виробникам напівпровідників ефективний спосіб захисту цілісності пластин та оптимізації ефективності виробництва. Незалежно від того, чи це автоматизоване, чи ручне оброблення, контейнер eFOSB відповідає суворим вимогам напівпровідникової промисловості, забезпечуючи транспортування пластин без забруднення та пошкодження на кожному етапі виробничого процесу.
Детальна діаграма
