Розчини для вологого та сухого травлення сапфірових пластин

Розчини для вологого та сухого травлення сапфірової пластини, зображене на фото

Короткий опис:

Сапфірові пластини з травленням виготовляються з використанням високочистих монокристалічних сапфірових (Al₂O₃) підкладок, оброблених за допомогою передової фотолітографії в поєднанні з технологіями мокрого та сухого травлення. Продукція характеризується високооднорідними мікроструктурованими візерунками, відмінною точністю розмірів та видатною фізичною та хімічною стабільністю, що робить її придатною для високонадійних застосувань у мікроелектроніці, оптоелектроніці, корпусуванні напівпровідників та передових галузях досліджень.

Надіслати нам електронного листа

Особливості

Детальна діаграма

Розчини для вологого та сухого травлення сапфірових пластин

Вступ до продукту

Сапфірові пластини з травленням виготовляються з використанням високочистих монокристалічних сапфірових (Al₂O₃) підкладок, оброблених за допомогою передової фотолітографії в поєднанні зтехнології мокрого та сухого травленняПродукція характеризується високооднорідними мікроструктурованими візерунками, відмінною точністю розмірів та видатною фізичною та хімічною стабільністю, що робить її придатною для високонадійних застосувань у мікроелектроніці, оптоелектроніці, виробництві напівпровідникових корпусів та передових галузях досліджень.

Сапфір добре відомий своєю винятковою твердістю та структурною стабільністю, з твердістю за шкалою Мооса 9, поступаючись лише алмазу. Завдяки точному контролю параметрів травлення на поверхні сапфіра можна формувати чітко визначені та повторювані мікроструктури, що забезпечує чіткі краї візерунка, стабільну геометрію та чудову узгодженість між партіями.

Технології травлення

Мокре травлення

Мокре травлення використовує спеціалізовані хімічні розчини для вибіркового видалення сапфірового матеріалу та формування бажаних мікроструктур. Цей процес забезпечує високу продуктивність, хорошу однорідність та відносно нижчу вартість обробки, що робить його придатним для формування структури на великих площах та застосувань з помірними вимогами до профілю бокової стінки.

Точно контролюючи склад розчину, температуру та час травлення, можна досягти стабільного контролю глибини травлення та морфології поверхні. Сапфірові пластини, отримані методом мокрого травлення, широко використовуються в підкладках для корпусування світлодіодів, структурних опорних шарах та окремих застосуваннях MEMS.

Сухе травлення

Сухе травлення, таке як плазмове травлення або реактивне іонне травлення (RIE), використовує високоенергетичні іони або реактивні речовини для травлення сапфіру за допомогою фізичних та хімічних механізмів. Цей метод забезпечує чудову анізотропію, високу точність та чудову здатність до перенесення малюнка, що дозволяє створювати дрібні деталі та мікроструктури з високим співвідношенням сторін.

Сухе травлення особливо підходить для застосувань, що вимагають вертикальних бічних стінок, чіткого визначення елементів та суворого контролю розмірів, таких як мікросвітлодіодні пристрої, вдосконалений корпус напівпровідників та високопродуктивні структури MEMS.

Основні характеристики та переваги

Підкладка з монокристалічного сапфіру високої чистоти з чудовою механічною міцністю
Гнучкі варіанти процесу: мокре або сухе травлення залежно від вимог застосування
Висока твердість та зносостійкість для довготривалої надійності
Відмінна термічна та хімічна стабільність, підходить для суворих умов експлуатації
Висока оптична прозорість та стабільні діелектричні властивості
Висока однорідність візерунка та стабільність від партії до партії

Застосування

Підкладки для корпусування та тестування світлодіодів та мікросвітлодіодів
Носії напівпровідникових мікросхем та вдосконалена упаковка
MEMS-сенсори та мікроелектромеханічні системи
Оптичні компоненти та прецизійні структури вирівнювання
Дослідницькі інститути та розробка мікроструктур на замовлення

Налаштування та послуги

Ми пропонуємо комплексні послуги з налаштування, включаючи розробку шаблону, вибір методу травлення (мокре або сухе), контроль глибини травлення, варіанти товщини та розміру підкладки, одностороннє або двостороннє травлення, а також ступені полірування поверхні. Суворі процедури контролю якості та перевірки гарантують, що кожна пластина з травленням сапфіру відповідає високим стандартам надійності та продуктивності перед доставкою.

FAQ – Часті запитання

Q1: Яка різниця між мокрим та сухим травленням сапфіру?

A:Мокре травлення базується на хімічних реакціях і підходить для обробки великих площ та є економічно ефективним, тоді як сухе травлення використовує плазмові або іонні методи для досягнення вищої точності, кращої анізотропії та кращого контролю характеристик. Вибір залежить від структурної складності, вимог до точності та вартісних міркувань.

Q2: Який процес травлення мені слід обрати для мого застосування?

A:Мокре травлення рекомендується для застосувань, що вимагають рівномірних візерунків з помірною точністю, таких як стандартні світлодіодні підкладки. Сухе травлення більше підходить для застосувань з високою роздільною здатністю, високим співвідношенням сторін або для застосувань Micro-LED та MEMS, де точна геометрія є критично важливою.

Q3: Чи можете ви підтримувати індивідуальні шаблони та специфікації?

A:Так. Ми підтримуємо повністю індивідуальні дизайни, включаючи розташування шаблону, розмір елементів, глибину травлення, товщину пластини та розміри підкладки.

Про нас

Компанія XKH спеціалізується на високотехнологічній розробці, виробництві та продажу спеціального оптичного скла та нових кристалічних матеріалів. Наша продукція обслуговує оптичну електроніку, побутову електроніку та військове обладнання. Ми пропонуємо сапфірові оптичні компоненти, кришки для об'єктивів мобільних телефонів, кераміку, LT, карбід кремнію SIC, кварц та напівпровідникові кристалічні пластини. Завдяки кваліфікованому досвіду та передовому обладнанню ми досягаємо успіху в обробці нестандартної продукції, прагнучи стати провідним високотехнологічним підприємством у сфері оптоелектронних матеріалів.