Зміст
1. Огляд та основні функції FOUP
2. Структура та конструктивні особливості FOUP
3. Класифікація та рекомендації щодо застосування FOUP
4. Операції та значення FOUP у виробництві напівпровідників
5. Технічні виклики та майбутні тенденції розвитку
6. Індивідуальні рішення та сервісна підтримка від XKH
У процесі виробництва напівпровідників контейнер з фронтальним відкриттям (FOUP) є критично важливим контейнером, який використовується для захисту, транспортування та зберігання пластин. Його внутрішня частина може вмістити 25 пластин розміром 300 мм, а його основні компоненти включають контейнер з фронтальним відкриттям та спеціальну дверну раму для відкривання та закривання. FOUP є основним контейнером в автоматизованій системі транспортування на фабриках 12-дюймових пластин. Зазвичай він транспортується в закритому стані та відкривається лише тоді, коли його просувають до порту завантаження обладнання, що дозволяє переміщувати пластини в порт завантаження/розвантаження обладнання.
Конструкція FOUP адаптована до вимог мікросередовища. Він має прорізи ззаду для вставки пластин, а кришка спеціально розроблена відповідно до затискача відкривача. Роботи для обробки пластин працюють у середовищі чистого повітря класу 1, що гарантує, що пластини не забруднюються під час передачі. Крім того, FOUP переміщується між технологічними інструментами за допомогою автоматизованої системи обробки матеріалів (AMHS). Сучасні фабрики з виробництва пластин здебільшого використовують підвісні рейкові системи для транспортування, тоді як деякі старіші фабрики можуть використовувати наземні автоматизовані керовані транспортні засоби (AGV).
FOUP не лише дозволяє автоматизоване переміщення пластин, але й виконує функцію зберігання. Через численні етапи виробництва, весь технологічний процес на пластинах може тривати місяцями. У поєднанні з високими щомісячними обсягами виробництва це означає, що десятки тисяч пластин на фабриці постійно перебувають у дорозі або тимчасовому зберіганні в будь-який момент часу. Під час зберігання FOUP періодично продуваються азотом, щоб запобігти контакту забруднюючих речовин з пластинами, забезпечуючи чистий та надійний виробничий процес.
1. Функції та значення FOUP
Основна функція FOUP полягає в захисті пластин від зовнішніх ударів та забруднення, зокрема запобіганні впливу на вихід продукції під час транспортування. Він ефективно запобігає потраплянню вологи за допомогою таких методів, як продувка газом та контроль локальної атмосфери (LAC), забезпечуючи безпечний стан пластин в очікуванні наступного етапу виробництва. Його герметична та контрольована система пропускає лише необхідні сполуки та елементи, що значно зменшує негативний вплив летких органічних сполук, кисню та вологи на пластини.
Оскільки FOUP, повністю завантажений 25 пластинами, може важити до 9 кілограмів, його транспортування має залежати від автоматизованої системи обробки матеріалів (AMHS). Для полегшення цього FOUP розроблений з різними комбінаціями з'єднувальних пластин, штифтів та отворів, а також оснащений електронними мітками RFID для легкої ідентифікації та класифікації. Таке автоматизоване оброблення майже не вимагає ручного керування, що значно знижує рівень помилок та підвищує безпеку та точність виробничого процесу.
2. Структура та класифікація FOUP
Типові розміри FOUP (переносного контейнера для обладнання) становлять приблизно 420 мм завширшки, 335 мм завглибшки та 335 мм заввишки. Його основні конструктивні компоненти включають: верхній грибоподібний елемент (OHT) для транспортування підвісним підйомником; передні дверцята для доступу до обладнання; бічні ручки, часто кольорового кодування для розрізнення технологічних зон з різним рівнем забруднення; область для карток для розміщення карток з повідомленнями; та нижню RFID-мітку, яка служить унікальним ідентифікатором для FOUP, дозволяючи інструментам та підвісним підйомникам розпізнавати його. Основа також оснащена чотирма ідентифікаційними та позиціонувальними отворами для зіставлення з інструментами та розрізнення технологічних зон.
Залежно від використання, FOUP класифікуються на три типи: PRD (для виробництва), ENG (для інженерних пластин) та MON (для моніторних пластин). FOUP PRD можуть використовуватися для виробництва продукції, типи ENG підходять для досліджень та розробок або експериментів, а типи MON призначені для моніторингу процесів для таких етапів, як CMP та DIFF. Важливо зазначити, що FOUP PRD можуть використовуватися як для ENG, так і для MON, а типи ENG можуть використовуватися для MON, але зворотна операція створює ризики для якості.
За рівнем забруднення, FOUP можна розділити на FE FOUP (процес обробки на передній частині, без металу), BE FOUP (процес обробки на задній частині, містить метал) та спеціалізовані для конкретних процесів обробки металу, такі як NI FOUP, CU FOUP та CO FOUP. FOUP для різних процесів зазвичай розрізняються за кольором бічних ручок або дверних панелей. FOUP з процесів обробки на передній частині можна використовувати в процесах обробки на задній частині, але FOUP із задньої частини ніколи не можна використовувати в процесах обробки на передній частині, оскільки це може призвести до ризику забруднення.
Як ключовий перевізник у виробництві напівпровідників, FOUP, завдяки високому рівню автоматизації та суворому контролю забруднення, забезпечує безпеку та чистоту пластин під час виробничого процесу, що робить його незамінною інфраструктурою на сучасних фабриках пластин.
Висновок
Компанія XKH прагне надавати клієнтам високоіндивідуалізовані рішення для уніфікованих подів з фронтальним відкриттям (FOUP), суворо дотримуючись ваших конкретних вимог до процесу та специфікацій інтерфейсу обладнання. Використовуючи передові технології матеріалів та точні виробничі процеси, ми гарантуємо, що кожен продукт FOUP забезпечує виняткову герметичність, чистоту та механічну стабільність. Наша технічна команда має глибокий галузевий досвід, пропонуючи комплексну підтримку життєвого циклу — від консультацій з вибору та структурної оптимізації до очищення та обслуговування — забезпечуючи безперебійну інтеграцію та ефективну співпрацю між FOUP та вашою автоматизованою системою обробки матеріалів (AMHS), а також технологічним обладнанням. Ми постійно надаємо пріоритет безпеці пластин та підвищенню виробничого виходу як нашим основним цілям. Завдяки інноваційним продуктам та всебічному технічному обслуговуванню ми надаємо надійну гарантію на ваші процеси виробництва напівпровідників, зрештою підвищуючи ефективність виробництва та вихід продукції.
Час публікації: 08 вересня 2025 р.