З безперервним розвитком напівпровідникових технологій у напівпровідниковій промисловості та навіть у фотоелектричній промисловості вимоги до якості поверхні пластинчастої підкладки або епітаксійного листа також дуже суворі.Отже, які вимоги до якості вафель?На прикладі сапфірових пластин за якими показниками можна оцінити якість поверхні пластин?
Які показники оцінки вафель?
Три показники
Для сапфірових пластин показниками оцінки є загальне відхилення товщини (TTV), вигин (Bow) і деформація (Warp).Ці три параметри разом відображають площинність і рівномірність товщини кремнієвої пластини, а також можуть вимірювати ступінь пульсації пластини.Гофрування можна поєднувати з площинністю, щоб оцінити якість поверхні пластини.
Що таке TTV, BOW, Warp?
TTV (загальна варіація товщини)
TTV - це різниця між максимальною і мінімальною товщиною пластини.Цей параметр є важливим показником, який використовується для вимірювання однорідності товщини пластини.У напівпровідниковому процесі товщина пластини повинна бути дуже рівномірною по всій поверхні.Вимірювання зазвичай проводять у п’яти місцях на пластині, і розраховують різницю.Зрештою, це значення є важливою основою для оцінки якості пластини.
Лук
Луг у виробництві напівпровідників відноситься до вигину пластини, звільняючи відстань між серединою незатисненої пластини та базовою площиною.Слово, ймовірно, походить від опису форми предмета, коли він зігнутий, як вигнута форма лука.Значення Bow визначається шляхом вимірювання відхилення між центром і краєм кремнієвої пластини.Це значення зазвичай виражається в мікрометрах (мкм).
Деформація
Деформація — це глобальна властивість пластин, яка вимірює різницю між максимальною та мінімальною відстанню між серединою вільно незатисненої пластини та базовою площиною.Являє собою відстань від поверхні кремнієвої пластини до площини.
Яка різниця між TTV, Bow, Warp?
TTV зосереджується на змінах товщини і не стосується згинання чи деформації пластини.
Бант зосереджується на загальному вигині, в основному враховуючи вигин центральної точки та краю.
Деформація є більш комплексною, включаючи згинання та скручування всієї поверхні пластини.
Хоча ці три параметри пов’язані з формою та геометричними властивостями кремнієвої пластини, вони вимірюються та описуються по-різному, і їхній вплив на напівпровідниковий процес і обробку пластин також різний.
Чим менші ці три параметри, тим краще, а чим більший параметр, тим більший негативний вплив на напівпровідниковий процес.Тому, як фахівець із напівпровідників, ми повинні усвідомлювати важливість параметрів профілю пластини для всього технологічного процесу, робити напівпровідниковий процес і звертати увагу на деталі.
（цензура）
Час публікації: 24 червня 2024 р