Підкладка з карбіду кремнію поділяється на напівізоляційну та провідну. На даний момент основна специфікація напівізольованої підкладки з карбіду кремнію становить 4 дюйми. На ринку електропровідного карбіду кремнію поточна основна специфікація підкладки становить 6 дюймів.
У зв’язку з подальшим застосуванням у радіочастотному полі напівізольовані підкладки SiC та епітаксійні матеріали підлягають експортному контролю Міністерства торгівлі США. Напівізольований SiC як підкладка є кращим матеріалом для гетероепітаксії GaN і має важливі перспективи застосування в мікрохвильовому полі. Порівняно з невідповідністю кристалів сапфіру 14% і Si 16,9%, невідповідність кристалів матеріалів SiC і GaN становить лише 3,4%. У поєднанні з надвисокою теплопровідністю SiC високоефективні світлодіодні та GaN високочастотні та високопотужні мікрохвильові пристрої, виготовлені ним, мають великі переваги в радарах, потужному мікрохвильовому обладнанні та системах зв’язку 5G.
Дослідження та розробка напівізольованої підкладки SiC завжди були в центрі дослідження та розробки монокристалічної підкладки SiC. Існує дві основні труднощі при вирощуванні напівізольованих SiC матеріалів:
1) Зменшити кількість донорних домішок азоту, введених графітовим тиглем, термоізоляційною адсорбцією та легуванням порошку;
2) При забезпеченні якості та електричних властивостей кристала вводиться центр глибокого рівня, щоб компенсувати залишкові домішки дрібного рівня електричною активністю.
На даний момент виробниками напівізольованих SiC є в основному SICC Co，Semisic Crystal Co，Tanke Blue Co., Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Провідний кристал SiC досягається введенням азоту в атмосферу, що росте. Провідна підкладка з карбіду кремнію в основному використовується у виробництві силових пристроїв, силових пристроїв з карбіду кремнію з високою напругою, високим струмом, високою температурою, високою частотою, низькими втратами та іншими унікальними перевагами, що значно покращить існуюче використання силових пристроїв на основі кремнію. ефективність перетворення, має значний і далекосяжний вплив на сферу ефективного перетворення енергії. Основними сферами застосування є електричні транспортні засоби/зарядні пристрої, нова фотоелектрична енергетика, залізничний транспорт, інтелектуальна мережа тощо. Оскільки нижче за течією провідних продуктів є в основному силові пристрої для електромобілів, фотоелектричних та інших галузей, перспективи застосування ширші, а виробників більше.
Кристалічний тип карбіду кремнію: типову структуру найкращого кристалічного карбіду кремнію 4H можна розділити на дві категорії: одна — це кубічний тип кристала карбіду кремнію зі структурою сфалериту, відома як 3C-SiC або β-SiC, а інша — гексагональна. або алмазну структуру великого періоду, типову для 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC тощо, спільно відомих як α-SiC. Перевагою 3C-SiC є високий питомий опір у виробничих пристроях. Однак велика невідповідність між постійними грат Si і SiC і коефіцієнтами теплового розширення може призвести до великої кількості дефектів в епітаксіальному шарі 3C-SiC. 4H-SiC має великий потенціал у виробництві МОП-транзисторів, оскільки його процеси росту кристалів і росту епітаксійного шару є кращими, а з точки зору рухливості електронів 4H-SiC вище, ніж 3C-SiC і 6H-SiC, забезпечуючи кращі мікрохвильові характеристики для 4H. -SiC MOSFET.
Якщо є порушення, контакт видалити
Час публікації: 16 липня 2024 р